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氮化镓外延片检测
北检院检测中心 | 完成测试:次 | 2022-06-06
北检研究院提供氮化镓外延片检测服务,包括面电阻均匀度、厚度均匀性、残余应力、内量子效率在内的多种检测项目,依照氮化镓外延片检测标准的试验方法,制定试验方案,办理氮化镓外延片检测报告。
注意:因业务调整,暂不接受个人委托测试望见谅。
检测样品范围
氮化镓外延片。
测试项目
面电阻均匀度、厚度均匀性、残余应力、内量子效率、响应度、暗电流、响应试验、载流子浓度、迁移率、电阻率等。
检测标准
GB/T 37053-2018 氮化镓外延片及衬底片通用规范
GB/T 30854-2014 LED发光用氮化镓基外延片
IEC 63229:2021 半导体器件.碳化硅衬底上氮化镓外延膜缺陷的分类

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