氮化镓外延片检测

检测样品范围

氮化镓外延片。

测试项目

面电阻均匀度、厚度均匀性、残余应力、内量子效率、响应度、暗电流、响应试验、载流子浓度、迁移率、电阻率等。

检测标准

GB/T 37053-2018 氮化镓外延片及衬底片通用规范

GB/T 30854-2014 LED发光用氮化镓基外延片

IEC 63229:2021 半导体器件.碳化硅衬底上氮化镓外延膜缺陷的分类