四氯化硅检测

检测样品范围

工业四氯化硅、电子工业用四氯化硅、高纯四氯化硅等。

测试项目

四氯化硅含量、氯硅烷聚合物含量、一甲基三氯硅烷含量、（铁、铝、铬、钛、铜、锰、镍）总量、硼含量、磷含量等。

检测标准

GB/T 38867-2020 电子工业用四氯化硅

HG/T 5745-2020 工业四氯化硅

DB63/T 1610-2017 光纤预制棒原料四氯化硅

YS/T 1195-2017 多晶硅副产品 四氯化硅

DB53/T 619-2014 气相色谱法测定四氯化硅及其次组分含量

GOST 26239.8-1984 半导体硅及其初始产品.二氯硅烷，三氯硅烷和四氯化硅测定法

SJ 2593-1985 高纯四氯化硅

相关试验方法

四氛化硅、氯硅烷聚合物含量的测定

采用气相色谱仪，在规定的条件下，将适量的试样注入配有热导检测器(TCD)的气相色谱仪中，四氯化硅、氯硅烷聚合物被色谱柱有效地分离，通过面积归一化法计算四氛化硅、氯硅烷聚合物各组分的含量。