原子力显微镜扫描

北检院检测中心  |  完成测试:  |  2026-03-25  

本检测详细介绍了原子力显微镜扫描技术的核心内容。文章系统阐述了该技术的四大关键方面:检测项目、检测范围、检测方法与检测仪器设备。每个部分均列出了十项具体内容,涵盖了从表面形貌、力学性质到动态过程等多种检测项目;涉及材料科学、生命科学、纳米技术等广泛范围;详细说明了接触、轻敲、峰值力等多种工作模式;并介绍了核心组件与辅助设备。通过结构化呈现,为读者提供了一份全面的原子力显微镜技术指南。

注意:因业务调整,暂不接受个人委托测试望见谅。

检测项目

表面三维形貌:获取样品表面纳米级分辨率的三维高度图像,揭示表面的起伏、粗糙度和结构特征。

表面粗糙度:定量分析样品表面在特定扫描范围内的平均粗糙度、均方根粗糙度等参数。

相分离与组分分布:通过相位成像模式,区分材料表面不同组分或相的区域,如聚合物共混物。

表面粘附力:测量探针针尖与样品表面之间的相互作用力,反映表面的化学性质和亲疏水性。

杨氏模量:通过力-距离曲线测量,定量获取样品局部的弹性模量,用于表征材料软硬度

表面电势:使用开尔文探针力显微镜模式,测量样品表面局部的接触电势差或表面电势分布。

磁场分布:使用磁性探针的磁力显微镜模式,对样品表面的磁场强度和分布进行成像。

摩擦力与横向力:测量探针在样品表面横向移动时受到的力,用于研究表面摩擦和磨损特性。

样品表面电荷:通过静电力显微镜模式,探测样品表面静电荷的分布与密度

生物分子间作用力:通过单分子力谱技术,测量配体-受体、DNA碱基对等生物分子间的特异性作用力。

检测范围

金属与合金材料:用于观察金属表面的晶粒、台阶、腐蚀形貌以及纳米压痕后的力学性能变化。

半导体与集成电路:检测芯片表面形貌、线宽、刻蚀深度,以及分析介电层、栅氧化层的电学性质。

高分子与聚合物:研究聚合物薄膜的相分离、结晶形态、表面粘弹性以及共混物的纳米结构。

碳纳米材料:对石墨烯、碳纳米管、富勒烯等材料的表面结构、缺陷、层数及力学性能进行表征。

陶瓷与玻璃材料:分析其表面的微观结构、抛光质量、裂纹扩展以及纳米尺度的磨损行为。

生物细胞与组织:在生理液体环境中对活细胞、细菌、组织切片进行高分辨率形貌成像和力学测量。

蛋白质与DNA分子:直接观察单个生物大分子的结构、构象、组装过程,并测量其力学性质。

液晶与自组装膜:研究液晶分子的排列、畴结构以及LB膜、自组装单分子膜的有序性和缺陷。

纳米颗粒与复合材料:表征纳米颗粒的尺寸、分布、团聚状态以及其在基体中的分散情况。

能源材料:如电池电极材料的表面形貌演变、太阳能电池薄膜的相分布、燃料电池催化剂的表征等。

检测方法

接触模式:探针针尖始终与样品表面保持物理接触进行扫描,适用于表面平坦、坚硬的样品。

轻敲模式:探针在共振频率附近振荡,间歇接触样品表面,有效减少横向力,适用于柔软、易损样品。

非接触模式:探针在样品表面上方以较小振幅振荡,不与表面接触,利用长程力成像,对样品无损伤。

峰值力轻敲模式:一种基于力反馈的成像模式,在每个振荡周期测量完整的力-曲线,可同步获取多种性质。

力-距离曲线测量:通过控制探针在单点或多点逼近和远离样品表面,记录力随距离的变化曲线。

相位成像:在轻敲模式中,记录探针振荡相位相对于驱动信号的变化,反映样品表面能量耗散差异。

磁力显微镜:使用镀有磁性涂层的探针,检测样品表面磁畴结构和磁场分布的梯度。

静电力显微镜:通过检测探针与样品间静电力或电势差,对表面电荷、电势分布进行成像。

开尔文探针力显微镜:在静电力显微镜基础上,通过零电位法精确测量样品表面的局部接触电势差。

纳米光刻与操纵:利用探针针尖对样品表面进行机械刮擦、诱导氧化或搬运纳米颗粒,实现纳米加工。

检测仪器设备

扫描探头:核心部件,包含压电陶瓷扫描器、光学检测系统和探针夹具,负责精确控制探针运动与信号检测。

微悬臂探针:带有尖锐针尖的微小悬臂梁,是感知相互作用的传感器,其材质、尺寸和共振频率决定应用范围。

激光二极管与位置敏感探测器:用于检测微悬臂的偏转。激光照射悬臂末端,反射光被PSD接收并转换为电信号。

高精度压电陶瓷扫描器:能够在X、Y、Z三个方向进行纳米级精度移动的驱动器,实现样品或探针的精确扫描。

主动隔震平台:用于隔离地面振动、声波等环境噪音对高分辨率扫描的干扰,确保成像稳定性。

闭环扫描控制系统:通过集成传感器实时反馈扫描器位置,并进行补偿,消除压电陶瓷的迟滞和蠕变,提高精度。

环境控制附件:包括温控样品台、液体池、气氛控制腔等,用于在液体、高温、低温或特定气体环境中进行测量。

锁相放大器与信号处理模块:用于提取在交流模式下(如轻敲模式、MFM、EFM)的微弱振幅、相位或频率信号。

高性能计算机与专用控制软件:用于控制仪器参数、采集数据、实时显示图像并进行后续的数据分析与处理。

辅助光学显微镜:集成在AFM上的光学显微镜,用于快速定位待测样品区域,并实现光学与纳米图像的关联。

检测流程

线上咨询或者拨打咨询电话;

获取样品信息和检测项目;

支付检测费用并签署委托书;

开展实验,获取相关数据资料;

出具检测报告。

北检(北京)检测技术研究院
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