微泄漏质谱检测

检测项目

密封容器完整性测试：评估包装瓶、罐、袋等密封容器是否存在微小泄漏，确保其密封性能符合标准。

半导体器件气密性检测：检测集成电路、MEMS传感器等半导体封装内部是否存在导致性能失效的微量气体泄漏。

真空系统漏率测量：精确测量真空腔体、管道、阀门等系统的整体漏率，评估其真空保持能力。

医疗器械包装密封性验证：对无菌医疗器械的最终包装进行非破坏性检测，确认其无菌屏障系统的完整性。

汽车零部件密封性检测：检测汽车车灯、燃油系统、安全气囊、电池包等关键部件的密封可靠性。

航空航天部件泄漏定位：对航天器密封舱、燃料管路、航空发动机部件进行高精度泄漏定位与定量分析。

药品包装系统泄漏测试：确保西林瓶、预灌封注射器、输液袋等药品初级包装的密封性，防止药品污染或变质。

新能源电池包密封检测：检测动力电池或储能电池包外壳的密封性，防止水分和氧气侵入影响电池安全与寿命。

工业管道与阀门内漏检测：在系统运行状态下，检测阀门密封面等部位的内部交叉泄漏。

长输管线微小泄漏监测：配合示踪气体，对地下或长距离输送管线进行周期性或在线泄漏监测。

检测范围

电子与半导体工业：芯片封装、晶体振荡器、继电器、光电器件等需要严格气密性的电子元器件。

制药与生物技术行业：无菌注射剂包装、冻干粉针剂瓶、生物反应器、细胞培养袋等关乎产品无菌性的系统。

食品与饮料包装行业：利乐包、易拉罐、塑料瓶、咖啡胶囊等需要保持内容物新鲜度与风味的包装。

汽车制造与零部件行业：发动机缸体、变速箱、空调系统、车桥、线束连接器等涉及油、气、水密封的部件。

航空航天与国防军工：飞机油箱、座舱、液压系统、卫星推进系统、导弹燃料舱等对安全性要求极高的装备。

医疗器械与耗材行业：心脏起搏器、人工关节包装、透析器、呼吸面罩、输液器等直接或间接接触人体的产品。

化工与能源领域：液化天然气储罐、核电站冷却系统、氢气储运设备、化工反应釜等涉及危险介质的设施。

真空技术与科研设备：电子显微镜、粒子加速器、镀膜机、分子泵机组等依赖高真空或超高真空环境的设备。

家用电器与消费电子：防水手机、智能手表、户外灯具、潜水相机等具有防水防尘等级要求的产品。

电力与储能行业：GIS组合电器、变压器、电力电容器以及各类新型储能系统的密封外壳。

检测方法

真空法（吸枪法）：将被测件内部抽真空或充入示踪气体，外部用吸枪扫描，质谱仪检测吸入气体中的示踪气体成分。

加压法（罩罩法）：将被测件内部充入高压示踪气体，整体置于密闭罩内，质谱仪检测罩内累积的示踪气体浓度以计算总漏率。

累积测试法：将充有示踪气体的被测件放入密闭的测试腔内，经过一段时间的累积，质谱仪分析测试腔内气体浓度。

真空箱法：将被测件置于真空箱内抽真空，若被测件内部充有示踪气体，泄漏出的气体会被质谱仪检测到。

背压法（ bombing ）：先将被测件置于高压示踪气体环境中一段时间，取出吹净表面后，再放入真空腔JianCe测其内部释放出的示踪气体。

喷吹法：适用于大型或不可密闭的物体，用示踪气体喷吹疑似泄漏点，在另一侧（如真空侧）用质谱仪检测是否有示踪气体出现。

氦气检漏法：最常用的方法，以氦气作为示踪气体，利用氦质谱检漏仪极高的灵敏度和选择性进行检测。

氢气检漏法：使用5%氢气和95%氮气的混合气作为安全示踪气体，用氢质谱仪或专用传感器进行检测，成本较低。

标准漏孔校准法：使用经过计量的标准漏孔对质谱检漏系统进行校准，确保检测结果的准确性和量值溯源性。

定量与定位结合法：先使用累积法或罩罩法测量总漏率，再使用吸枪法进行精确扫描，找到具体的泄漏位置。

检测仪器设备

氦质谱检漏仪：核心设备，利用磁偏转或四极杆质谱原理，专门检测氦气分压，具有极高的检测灵敏度（可达10-12 Pa·m³/s）。

氢质谱检漏仪：专门用于检测氢气或氢氮混合气的检漏仪，适用于对氦气成本敏感或存在氦气背景干扰的场合。

检漏仪校准系统：包含标准漏孔、流量计、压力计等，用于对检漏仪的灵敏度、响应时间等关键参数进行定期校准。

多功能真空检漏系统：集成机械泵、分子泵、真空计、阀门和检漏仪的成套系统，用于执行真空法、累积法等检测流程。

吸枪与采样探头：用于扫描被测件表面的手持式或机械臂搭载的采样装置，将可能含有示踪气体的样品吸入检漏仪。

真空测试腔室：由不锈钢等材料制成，配备观察窗和接口，用于放置被测件并建立检测所需的真空环境。

充气与压力控制装置：包括高压气瓶、减压阀、精密压力控制器和质量流量控制器，用于向被测件精确充入示踪气体并控制压力。

数据采集与处理软件：控制检漏仪和辅助设备运行，实时采集泄漏信号，进行数据分析、存储、报告生成和泄漏点映射。

示踪气体（氦气/氢氮混合气）：氦气惰性、安全、空气中含量低、分子量小易渗透，是理想示踪气体；氢氮混合气是经济安全的替代选择。

辅助真空泵组：包括前级旋片泵、罗茨泵和分子泵，用于为检漏仪和测试腔室提供并维持所需的工作真空度。

检测流程

线上咨询或者拨打咨询电话;

获取样品信息和检测项目;

支付检测费用并签署委托书;

开展实验，获取相关数据资料;

出具检测报告。