气密封装测试仪检验

检测项目

1. 粗检漏测试：用于检测封装体是否存在较大漏孔（漏率通常大于10^-5 Pa·m³/s），是筛选严重泄漏缺陷的首道工序。

2. 细检漏测试：用于精确定量检测微小漏孔（漏率通常在10^-5至10^-12 Pa·m³/s范围），确保封装达到高密封等级要求。

3. 绝对漏率测试：在特定压力条件下，精确测量封装体的绝对气体泄漏速率，是定量评价密封性能的关键指标。

4. 密封强度测试：评估封装结构在承受内部压力或外部压力时的机械强度，防止因压力变化导致封装破裂。

5. 内部水汽含量测试：检测封装腔体内的水分含量，过高的水汽会引发电化学腐蚀，影响器件长期可靠性。

6. 封装完整性测试：综合评估封装外壳、盖板、焊缝或粘接处是否存在物理缺陷，确保结构的完整无缺。

7. 温度循环后密封性测试：在经历高低温循环应力后，再次检验其密封性能，考核温度交变对密封可靠性的影响。

8. 抗压性测试：模拟器件在深水或高压环境下的耐受能力，检验封装在静态高压下的密封保持性。

9. 氦质谱检漏测试：使用氦气作为示踪气体，利用质谱仪进行高灵敏度、高精度的细检漏，是行业标准方法。

10. 气泡法测试：将被测件浸入液体中并施加气压，通过观察是否有连续气泡产生来定性判断漏孔位置与大小。

检测范围

1. 军用及航空航天电子元器件：包括导弹制导系统、卫星通信模块等对极端环境密封性要求极高的器件。

2. 高可靠性微电子器件：如CPU、GPU、ASIC等芯片的金属、陶瓷气密封装，确保其在高性能计算中的稳定。

3. MEMS（微机电系统）器件：如加速度计、陀螺仪、压力传感器等，其内部可动结构要求腔体高度洁净与密封。

4. 光电子器件封装：包括激光器、光电探测器等，密封保护内部光学元件免受灰尘、湿气侵蚀。

5. 医疗器械与植入式装置：如心脏起搏器、神经刺激器等，要求终身密封以防止体液侵入导致故障。

6. 汽车电子模块：尤其是发动机舱、变速箱控制单元等，需耐受高温、高湿、油污等苛刻条件。

7. 深海探测设备封装：用于水下机器人和探测仪器的封装，必须承受极高的静水压力。

8. 射频与微波组件：如微波单片集成电路封装，密封性影响其电性能的稳定性和一致性。

9. 晶体振荡器与谐振器：密封腔体为晶体提供稳定工作环境，防止频率漂移。

10. 特种继电器与连接器：用于电力、轨道交通等领域，密封保证其在粉尘、潮湿环境下的接触可靠性。

检测方法

1. 压力衰减法：向被测件内充入一定压力气体，监测一段时间内的压力下降值，计算漏率。

2. 氦质谱吸枪法：将被测件在高压氦气中浸泡，后用吸枪在表面扫描，质谱仪检测逸出的氦气。

3. 氦质谱真空罩法：将被测件置于真空罩内，抽真空后向罩内充氦，通过检测被测件内氦气浓度上升速率来测漏。

4. 示踪气体检测法：除氦气外，也可使用氪85、氟里昂等作为示踪气体，配合相应探测器进行检测。

5. 水浸气泡法：定性检测方法，对被测件加压后浸入水或酒精中，肉眼或摄像头观察气泡。

6. 重量法测水汽：通过测量封装件在烘干前后重量变化，或使用专用水汽分析仪测量内部水汽含量。

7. 放射性同位素检漏法：使用放射性气体（如Kr-85）作为示踪剂，具有极高灵敏度，用于特殊高要求场合。

8. 累积检漏法：适用于极小漏率的器件，将漏出的气体在收集器中累积一段时间后再进行集中测量。

9. 光学检漏法：利用激光等光学手段，通过检测气体泄漏导致的光强、相位或光谱变化来判定泄漏。

10. 声学检漏法：通过超声波或声发射传感器捕捉气体高速通过漏孔时产生的特定频率声波进行定位。

检测仪器设备

1. 氦质谱检漏仪：核心高灵敏度设备，用于检测氦气分子，是细检漏和绝对漏率测试的标准仪器。

2. 压力衰减检漏仪：通过高精度压力传感器测量压力变化，常用于生产线上的快速粗检与过程监控。

3. 密封测试腔体与夹具：为被测件提供测试环境，包括真空腔、加压腔、专用工装等，需保证自身无泄漏。

4. 内部水汽含量分析仪：通常采用露点法或压电晶体微天平原理，精确测量封装内部水分子浓度。

5. 高低温试验箱：用于进行温度循环或高低温存储后的密封性测试，考核温度应力下的性能。

6. 气泡检漏观测系统：包含透明液体槽、加压系统、照明及高清摄像系统，用于自动观察和记录气泡。

7. 真空泵组：为测试腔体提供所需的真空环境，是氦质谱检漏等真空法测试的基础设备。

8. 标准漏孔：经过精密校准、具有已知漏率的器件，用于校准检漏仪的灵敏度和测试系统的准确性。

9. 气体增压与控制系统：精确控制测试过程中施加的压力、气体类型和充放气速率。

10. 数据采集与处理系统：集成传感器信号采集、测试流程控制、数据分析和报告生成功能的软件与硬件平台。

检测流程

线上咨询或者拨打咨询电话;

获取样品信息和检测项目;

支付检测费用并签署委托书;

开展实验，获取相关数据资料;

出具检测报告。