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金属层厚度X光谱检测
北检院检测中心 | 完成测试:次 | 2025-04-18
金属层厚度X光谱检测是一种基于X射线荧光原理的非破坏性分析方法,广泛应用于电子元件、航空航天及工业镀层领域的技术评估。该方法通过测量特征X射线强度与能量分布,实现0.01-50μm范围内金属/合金涂层的精准测定,需重点关注基材干扰校正、仪器校准规范及测量重复性控制等核心要素。
注意:因业务调整,暂不接受个人委托测试望见谅。
检测项目
X光谱检测主要针对以下金属层参数进行定量分析:
单层/多层金属镀层厚度测定
合金涂层元素比例分析
表面处理层密度表征
基材-镀层界面扩散评估
微区镀层均匀性测试
检测范围
本方法适用于以下材料体系:
金属基材:钢、铝、铜及其合金表面处理层
非金属基材:塑料、陶瓷、玻璃基体金属化镀层
镀层类型:电镀、化学镀、真空镀膜等工艺形成的金属层
厚度范围:
超薄层:0.01-0.1μm(如半导体金属化层)
常规层:0.1-10μm(PCB表面处理层)
厚涂层:10-50μm(工业防腐镀层)
检测方法
X射线荧光光谱法依据JIS H8501、ASTM B568等标准实施:
激发过程:高能X射线轰击样品表面,使待测元素原子发生电离
特征辐射:电子跃迁产生元素特征X射线(Kα/Lα系)
信号采集:硅漂移探测器(SDD)接收荧光信号并转换为电脉冲
数据处理:
谱峰识别:通过能量色散分离各元素特征峰
强度计算:采用FP法或经验系数法建立强度-厚度模型
基体校正:运用ZAF修正算法消除基材吸收效应
结果输出:自动生成厚度分布图及统计报告
检测仪器
仪器类型 | 关键参数 | 适用场景 |
---|---|---|
台式XRF光谱仪 | Rh靶/50kV/1mm准直器 | 实验室批量样品分析 |
手持式XRF分析仪 | Ta靶/40kV/3mm光斑 | 现场快速筛查测试 |
微区XRF系统 | 多毛细管聚焦/10μm分辨率 | 微观结构成分分析 |
掠入射XRF装置 | 入射角0.5°-5°可调 | 超薄膜层测量(<10nm) |
同步辐射XRF站 |