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真空漏气检测
北检院检测中心 | 完成测试：次 | 2025-04-21
真空漏气检测是评估密闭系统密封性能的核心技术手段，涉及压力容器、真空设备及管道的完整性验证。本文系统阐述静态/动态泄漏率测试、密封材料性能评价等关键项目，解析氦质谱法、气泡法等主流检测方法的操作规范与适用场景，并详述符合ASTME499、ISO20486等国际标准的仪器选型原则。
注意：因业务调整，暂不接受个人委托测试望见谅。
检测项目
静态泄漏率测试：在恒定真空度下测量单位时间气体渗透量，适用于高精度密封系统验证
动态泄漏率测试：模拟实际工况压力波动环境下的泄漏监测
密封面完整性评估：通过微观形貌分析判断法兰/焊缝缺陷等级
材料渗透性测试：测定橡胶垫片、高分子密封件的气体渗透系数
真空维持能力验证：记录系统达到设定真空度后的压力回升曲线
检测范围
半导体制造设备：晶圆加工腔体、CVD反应室真空密封验证
航空航天部件：推进剂贮箱、航天服气密层完整性检测
医疗灭菌设备：高压灭菌器门封系统泄漏量测定
冷链物流装备：冷藏集装箱真空绝热板渗透率测试
科研实验装置：粒子加速器真空管道微泄漏定位
工业管道系统：化工反应釜负压密封性能验证
检测方法
氦质谱检漏法（MSLD）
采用He示踪气体与四极杆质谱仪联用技术
灵敏度可达1×10-12 Pa·m3/s
包含喷吹法、真空罩法两种实施方式
压力衰减法（PDM）
依据理想气体状态方程计算泄漏量
测试压力范围覆盖5kPa~2MPa（绝压）
需同步监测环境温度波动补偿误差
气泡观察法（Bubble Test）
适用于≥1×10-5 Pa·m3/s的粗漏检测
浸水试验需控制水温在25±3℃范围
皂膜法可进行局部泄漏点定位
红外热成像法（IRT）
基于气体绝热膨胀引起的温度场变化原理
空间分辨率优于0.1mrad的热像仪配置要求
超声波检漏法（ULT）
捕捉20kHz~100kHz频段泄漏声波信号
适用于高压气体系统的快速巡检作业
检测仪器
氦质谱检漏仪（Helium Mass Spectrometer）
核心参数：最小可检漏率≤5×10-13 Pa·m3/s
标配分子泵机组实现10-4 Pa基础真空度
差压式检漏仪（Differential Pressure Tester）
双通道压力传感器精度±0.05%FS
内置温度补偿算法消除环境干扰误差
激光吸收光谱仪（TDLAS）
采用可调谐二极管激光波长扫描技术
支持NH3/CO2/CH4等多气体示踪检测模式
全自动真空校准系统（Automatic Calibration System）
集成多级机械泵/分子泵抽气机组模块化设计
配备电容薄膜规+电离规复合真空计组（测量范围10-5-10-8
检测流程
线上咨询或者拨打咨询电话;
获取样品信息和检测项目;
支付检测费用并签署委托书;
开展实验，获取相关数据资料;
出具检测报告。
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