滤镜检测

检测项目

滤镜核心检测项目包含光学性能参数与物理特性两大维度：

光谱透过率：测量特定波长范围内的透射曲线偏差值（±3%以内为合格）

截止波长精度：验证短波通/长波通滤镜的截止陡度与标称值误差（≤5nm）

表面质量指标：依据MIL-PRF-13830B标准判定划痕（20/10级）、麻点密度（≤3个/cm²）

环境耐受性：包含温度循环（-40℃~85℃/5周期）、湿热试验（40℃/95%RH/96h）后的透射率变化率（ΔT≤1.5%）

膜层附着力：通过胶带剥离法测试膜层脱落面积（≤0.1%）

检测范围

检测方法

分光光度法

采用双光束分光系统测量250-2500nm波段透射/反射率：样品置于积分球中心，以5nm步长扫描采集数据。依据ASTM E903标准计算CIE色坐标偏差Δu'v'≤0.002。

干涉测量法

使用Zygo干涉仪进行面形精度检测：波长632.8nm He-Ne激光源，PV值≤λ/4@633nm，RMS粗糙度＜1nm。

加速老化试验

按IEC 60068-2-5执行紫外辐照试验：波长340nm，辐照度0.76W/m²，累计暴露量150kJ/m²后目检黄变指数ΔYI＜2。

机械耐久性测试

依据MIL-STD-810G方法514.7进行振动试验：频率10-2000Hz，加速度谱密度0.04g²/Hz，三轴向各振动1小时。

检测仪器

Cary 7000紫外可见近红外分光光度计

- 波长范围：175-3300nm

- 分辨率：0.05nm

- 杂散光＜0.00007%@220nm

TRIOPTICS OptiSpheric IFR Pro干涉仪

- 测量精度：λ/100 PV

- 最大口径：300mm

- 支持透射/反射波前分析

ESPEC PL-3KPH气候试验箱

- 温度范围：-70℃~180℃

- 湿度控制：10%~98%RH

- 太阳辐射模拟：0-1200W/m²可调

CoatMaster膜厚监控系统

- 实时监控精度：±0.3%

- 支持8层膜系同步分析

- 晶控频率稳定性±0.01Hz

SUSS MicroTec探针台

- XYZ定位精度±1μm

- 支持200mm晶圆测试

- 集成四探针电阻测量模块

检测流程

线上咨询或者拨打咨询电话;

获取样品信息和检测项目;

支付检测费用并签署委托书;

开展实验，获取相关数据资料;

出具检测报告。