特种气体检测

检测项目

特种气体检测主要针对以下三类核心指标：

纯度分析：测定高纯气体（如5N级氩气）中痕量杂质含量（O₂≤0.1ppm、H₂O≤0.5ppm）

毒性监测：对砷烷（AsH₃）、磷烷（PH₃）等剧毒气体的TLV-TWA值进行精确测定

爆炸极限测定：确定硅烷（SiH₄）、氢气等可燃气体在空气中的LEL/UEL临界值

腐蚀性评估：检测氟化氢（HF）、氯气（Cl₂）等腐蚀性气体的浓度梯度分布

检测范围

特种气体检测覆盖以下重点领域：

半导体制造：晶圆加工用电子特气（三氟化氮、六氟化钨）的纯度验证

医疗消毒：环氧乙烷灭菌设备的残留气体浓度监控

新能源生产：锂离子电池制造过程中六氟磷酸锂分解气体的组分分析

石油化工：催化裂化装置中硫化氢（H₂S）的实时在线监测

环境监测：垃圾填埋场甲烷（CH₄）逸散量的定点巡检

检测方法

主要采用以下标准化检测技术：

气相色谱-质谱联用（GC-MS）：适用于复杂混合气体的定性与定量分析（检出限达ppb级）

傅里叶变换红外光谱（FTIR）：用于实时在线监测多组分气体浓度变化（分辨率4cm⁻¹）

激光光声光谱法（LPAS）：针对甲烷等温室气体的高灵敏度检测（精度±1%FS）

电化学传感器阵列：实现有毒气体的快速响应（T90＜30s）与交叉干扰补偿

紫外差分吸收光谱（DOAS）：应用于开放光路下的区域污染气体分布测绘

检测仪器

标准配置设备包括但不限于：

便携式多参数分析仪：集成PID/FID双探测器（量程0-10000ppm），满足现场快速筛查需求

在线质谱监测系统：配备分子涡轮泵（极限真空10⁻⁷mbar），实现连续采样分析

全自动预浓缩装置：采用三级冷阱聚焦技术（富集倍数＞1000×），提升痕量气体检出能力

防爆型固定式探测器：符合ATEX/IECEx认证标准（防护等级IP66），适用于危险区域部署

移动走航监测车：搭载量子级联激光器（QCL），支持道路移动式污染源追踪定位

校准用标准气发生器

检测流程

线上咨询或者拨打咨询电话;

获取样品信息和检测项目;

支付检测费用并签署委托书;

开展实验，获取相关数据资料;

出具检测报告。