薄膜厚度测试检测

检测项目

光学薄膜厚度：通过干涉原理测量，典型范围0.1-100μm，精度±0.5nm

金属镀层厚度：X射线荧光法（XRF）测量，适用0.01-50μm，精度±2%

涂层附着力：划格法评定，执行ASTM D3359标准，分级0-5B

多层结构分层厚度：光谱反射仪检测，可解析5层复合结构，分辨率10nm

有机薄膜均匀性：激光共聚焦扫描，检测区域100×100mm²，平面偏差±0.1%

半导体光刻胶厚度：椭偏仪测量，量程50-500nm，重复性±0.3nm

真空镀膜厚度：石英晶体微天平监控，实时精度0.1Å/s

聚合物薄膜水汽阻隔层：红外光谱法，检测限0.1g/m²/day

磁性薄膜磁阻层：霍尔效应测试，厚度关联精度±2%

微电子钝化层厚度：电容-电压法，量程0.1-5μm，误差±3%

生物医用涂层厚度：原子力显微镜（AFM）扫描，三维重构精度±0.5nm

太阳能背板反射层：紫外可见分光光度计，膜厚关联反射率±0.5%

检测范围

半导体晶圆制造：硅外延层、高K介质膜、铜互连阻挡层等纳米级薄膜

光学元器件：增透膜、分光膜、滤光片等精密光学涂层

柔性显示面板：ITO导电膜、偏光片、OLED封装层等

光伏组件：减反射涂层、透明导电氧化物（TCO）薄膜

包装阻隔材料：铝箔复合层、PVDC涂层、氧化硅镀膜等

磁性存储介质：巨磁阻（GMR）多层膜、隧道结（MTJ）结构

汽车功能涂层：发动机抗磨镀层、车窗热反射膜、防腐底漆

医疗器械：药物缓释涂层、钛合金生物活性膜、抗菌镀层

锂电池材料：电极浆料涂层、隔膜陶瓷涂层、集流体导电层

航空航天：发动机热障涂层（TBC）、雷达吸波薄膜、舷窗防冰膜

文物保护：金属文物缓蚀涂层、书画修复加固膜

纳米功能材料：石墨烯转移层、量子点薄膜、超疏水涂层

检测标准

ASTM B499：磁感应法测量非磁性基体金属镀层

ISO 2178：非磁性基材上非导电覆盖层测厚

GB/T 4956：磁性基体上非磁性覆盖层厚度测量

ISO 3497：X射线光谱法测定金属覆盖层厚度

ASTM D6132：超声波测厚仪校准与使用

GB/T 11378：金属覆盖层厚度轮廓仪测量法

ISO 2360：涡流法测量非导电基材金属镀层

ASTM F2459：光学干涉法测量透明薄膜

GB/T 13452.2：漆膜厚度测定机械法

JIS H8501：电镀层厚度试验方法通则

ISO 4518：机械轮廓仪测定镀层厚度

DIN 50933：阴极溶解法测量多层系统

检测仪器

台阶轮廓仪：接触式探针扫描表面台阶差，垂直分辨率0.1nm，符合ISO 4287标准

激光共聚焦显微镜：非接触三维形貌重建，Z轴分辨率1nm，用于透明多层膜分析

X射线荧光光谱仪（XRF）：元素特征X射线强度关联膜厚，检测限0.005μm，执行ISO 3497

光谱椭偏仪：测量偏振光相位变化分析膜厚/折射率，适用于1-300nm超薄膜

白光干涉仪：基于Michelson干涉原理，测量范围0.1nm-1mm，精度±0.1%

涡流测厚仪：电磁感应原理测量非导电基材金属层，分辨率0.1μm，符合ISO 2360

磁感应测厚仪：永磁体探头测量磁性基体非磁性层，量程0-2000μm，执行ASTM B499

石英晶体微天平：真空镀膜过程实时监控，频率分辨率0.1Hz，膜厚控制精度±0.3%

超声波测厚仪：脉冲回波法测量多层结构，最小检测层厚0.05mm，符合ASTM D6132

红外光谱膜厚分析系统：特定吸收峰强度关联有机膜厚，检测限10nm，适用ISO 18320

检测流程

线上咨询或者拨打咨询电话;

获取样品信息和检测项目;

支付检测费用并签署委托书;

开展实验，获取相关数据资料;

出具检测报告。