衍射光栅检测

北检院检测中心  |  完成测试:  |  2025-07-23  

衍射光栅检测针对光学元件性能进行系统评估,涵盖光栅常数、衍射效率、分辨率等核心指标。检测包括表面平整度、刻线质量和波长精度参数,确保光栅在光谱分析、激光应用中的可靠性和精度。标准检测方法和仪器保障结果可重复性。

注意:因业务调整,暂不接受个人委托测试望见谅。

检测项目

光栅常数测量:测定光栅刻线间距。具体参数包括最小可测间距0.5μm,误差范围±0.1μm。

衍射效率评估:量化光栅对入射光的衍射能力。具体参数包括效率值90%以上,测量精度±2%.

分辨率测试:评估光栅区分邻近波长能力。具体参数包括分辨率优于0.1nm,测试波长范围400-700nm.

波长精度验证:确认光栅标称波长准确性。具体参数包括偏差小于±0.5nm,重复性测试三次。

表面平整度检测:测量光栅表面平坦度。具体参数包括RMS粗糙度小于1nm,扫描面积10mmx10mm.

刻线质量检查:分析刻线均匀性和缺陷。具体参数包括刻线宽度一致性±0.05μm,无断裂或毛刺。

材料均匀性评估:检验光栅材料光学一致性。具体参数包括折射率变化小于0.001,采样点间距1mm.

温度稳定性测试:考察温度变化下性能保持。具体参数包括温度系数小于0.01%/°C,范围-20°C至60°C.

偏振依赖性测量:评估不同偏振光响应。具体参数包括偏振消光比大于20dB,入射角0°-45°.

耐久性试验:模拟长期使用退化情况。具体参数包括循环测试1000次,性能衰减小于5%.

散射损失分析:量化光栅表面散射效应。具体参数包括散射角分辨率0.1°,损失系数小于0.5%.

透射率检测:测量光栅在透射模式下的光传输。具体参数包括透射率范围70%-95%,波长依赖性测试.

检测范围

反射式光栅:用于光谱仪和分光设备的光学元件。

透射式光栅:在透射光路中实现光束分散的结构。

全息光栅:通过全息干涉技术制造的高精度光栅。

刻划光栅:机械刻制工艺生产的传统衍射元件。

光栅光谱仪:集成光栅的光谱分析仪器。

激光衍射系统:用于激光束整形和控制的装置。

光纤布拉格光栅:光纤内部的光栅结构,用于通讯传感。

光学通讯设备:波长分复用系统中的光栅组件。

天文仪器:望远镜光谱仪中的高性能光栅。

工业测量设备:位置和位移传感器中的光栅元件。

生物医学成像系统:光谱成像设备的光栅模块。

环境监测仪器:大气分析仪的光栅分光部件。

教育实验装置:物理教学用光栅演示工具。

材料分析设备:表面形貌仪的光栅探头。

半导体检测工具:晶圆测试系统中的光栅元件。

检测标准

ISO10110-7:2017规范光学元件表面缺陷检测要求。

ASTME308-17规定光谱测量标准实践方法。

GB/T11167-2008定义光学元件质量通用要求。

ISO14999-4:2015涵盖光学系统性能测试程序。

GB/T13384-2008制定光学仪器通用技术条件。

ISO9039:2008涉及光学分辨率测试标准。

ASTMF1044-05规范表面粗糙度测量指南。

GB/T1800.1-2009规定公差与配合基本准则。

ISO9211-4:2012描述环境耐久性测试方法。

GB/T2423.1-2008涉及电工电子产品环境试验。

检测仪器

光谱仪:测量光栅衍射波长和效率。具体功能包括波长范围300-1000nm,分辨率0.05nm.

激光干涉仪:检测光栅表面形貌和平整度。具体功能包括垂直分辨率0.1nm,扫描速度1mm/s.

光学显微镜:检查刻线质量和均匀性。具体功能包括放大倍率1000x,数字成像分析.

温度控制环境箱:测试温度稳定性影响。具体功能包括温度范围-40°C至100°C,精度±0.5°C.

偏振分析仪:评估光栅偏振依赖性。具体功能包括偏振角度精度0.1°,消光比测量.

耐久性测试机:模拟长期机械应力。具体功能包括循环频率0-10Hz,载荷范围0-100N.

检测流程

线上咨询或者拨打咨询电话;

获取样品信息和检测项目;

支付检测费用并签署委托书;

开展实验,获取相关数据资料;

出具检测报告。

北检(北京)检测技术研究院
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