真空严密性检测

北检院检测中心  |  完成测试:  |  2025-07-23  

真空严密性检测是评估真空系统密封性能的专业过程,关键检测参数包括泄漏率、压力衰减和气体渗透分析。检测聚焦标准化方法和高精度测量,确保系统在工业应用中维持真空完整性,涉及定量分析与仪器应用。

注意:因业务调整,暂不接受个人委托测试望见谅。

检测项目

泄漏率测试:测量系统单位时间气体泄漏量;具体检测参数:泄漏率单位为Pa·m³/s或mbar·l/s。

压力衰减测试:监测真空环境压力变化趋势;具体检测参数:压力下降速率(Pa/min)。

真空度测试:评估系统达到的最低压力水平;具体检测参数:压力范围10^{-3}Pa至大气压。

气体成分分析:识别泄漏气体的类型与来源;具体检测参数:气体种类如氦、氮、氧浓度(ppm)。

泄漏定位测试:精确确定泄漏点位置;具体检测参数:探测灵敏度10^{-9}mbar·l/s。

密封圈完整性测试:检查密封元件表面缺陷;具体检测参数:缺陷大小(μm)和渗透路径长度。

真空系统稳定性测试:评估系统真空维持能力;具体检测参数:维持时间(小时)和压力波动范围。

残余气体分析:分析真空腔内残留气体组成;具体检测参数:气体浓度(ppm)和分子量分布。

渗透率测试:测量材料对气体的渗透性;具体检测参数:渗透系数(单位时间单位面积气体流量)。

真空维持时间测试:记录系统保持设定真空的时间;具体检测参数:真空度稳定性(%)和时间(min)。

检测范围

航空航天组件:卫星推进系统和火箭引擎真空密封验证。

半导体制造设备:晶圆加工腔体和等离子体刻蚀系统严密性评估。

医疗器械:真空包装器械和手术设备密封性能检测。

化工反应釜:高压真空反应器泄漏率测量。

真空绝缘板:建筑隔热材料真空完整性检查。

电子真空管:电子器件真空维持能力测试。

冷冻干燥系统:食品与药品干燥设备密封性验证。

真空镀膜设备:光学薄膜沉积系统泄漏检测。

科研真空腔体:实验室实验腔体严密性分析。

汽车引擎真空系统:引擎助力器密封性能评估。

检测标准

ASTME499真空泄漏检测测试方法。

ISO3530真空技术泄漏检测规范。

GB/T4986真空严密性测试方法。

ISO1608真空泵性能测量标准。

GB/T3163真空技术术语和定义。

ASTMF2338真空包装测试方法。

ISO21360真空技术泄漏检测指南。

GB/T6070真空系统密封性能测试规程。

ISO10012真空计量系统要求。

ASTMD499真空密封材料渗透测试。

检测仪器

氦质谱检漏仪:利用氦气作为示踪剂检测微小泄漏;在本检测中用于高精度泄漏定位和泄漏率量化。

真空压力计:测量真空系统压力变化;在本检测中用于监控压力衰减并提供实时数据。

残余气体分析仪:识别真空腔内气体种类;在本检测中用于泄漏源分析和气体浓度测定。

压力衰减测试系统:自动记录真空压力随时间变化;在本检测中用于直接测量衰减速率评估密封完整性。

密封性测试仪:集成传感器进行综合泄漏检测;在本检测中用于执行压力保持测试和渗透分析。

检测流程

线上咨询或者拨打咨询电话;

获取样品信息和检测项目;

支付检测费用并签署委托书;

开展实验,获取相关数据资料;

出具检测报告。

北检(北京)检测技术研究院
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