陶瓷靶材检测

北检院检测中心  |  完成测试:  |  2025-07-24  

陶瓷靶材检测专注于评估材料的物理、化学及功能性能,确保其在溅射沉积等工业应用中的可靠性。核心检测要点包括成分分析、微观结构表征、机械强度测试和功能性评估。检测过程需精确测量关键参数,如密度、硬度和电导率,以验证材料符合严格规格要求。

注意:因业务调整,暂不接受个人委托测试望见谅。

检测项目

化学成分分析:确定材料元素组成和杂质含量,参数包括主元素百分比、次要元素浓度及微量元素检出限。

密度测定:基于阿基米德原理评估材料质量体积比,参数涵盖绝对密度测量精度和相对密度计算。

硬度测试:测量材料抗压强度,参数涉及维氏硬度值、洛氏硬度标尺选择及压痕深度。

孔隙率测量:评估材料内部空隙比例,参数包括开孔孔隙率、闭孔孔隙率及总孔隙率百分比。

晶粒尺寸分析:确定微观结构中晶体颗粒大小,参数涵盖平均晶粒直径、粒度分布曲线及标准偏差。

膨胀系数测定:评估材料随温度变化的尺寸稳定性,参数包括线性膨胀率、温度范围和精度。

电导率测量:测试材料导电性能,参数涉及体积电导率值、表面电导率及电阻率范围。

表面粗糙度评估:分析材料表面形貌,参数包括算术平均粗糙度、峰谷高度差及采样长度。

粘结强度测试:测量涂层或界面结合力,参数涉及拉伸强度值、剪切强度及剥离力阈值。

腐蚀性能评估:考察材料在化学环境中的稳定性,参数包括腐蚀速率、重量损失百分比及暴露时间。

微观结构表征:观察材料内部组织,参数涵盖相分布、晶界清晰度及缺陷密度。

磁性能检测:评估磁性材料特性,参数包括磁导率、剩余磁感应强度及矫顽力值。

检测范围

氧化铝陶瓷靶材:用于溅射沉积制备绝缘或耐磨薄膜的陶瓷材料。

氧化锆陶瓷靶材:应用于高温环境或生物医学器械涂层的高强度陶瓷。

氮化硅陶瓷靶材:适用于半导体器件制造中的耐高温和绝缘层沉积。

碳化硅陶瓷靶材:用于功率电子设备涂层的高硬度耐磨材料。

铁氧体陶瓷靶材:在磁性存储设备中用于沉积磁性薄膜。

锆钛酸铅陶瓷靶材:用于压电器件和传感器涂层的压电材料。

透明导电氧化物靶材:应用于显示面板的透明电极沉积。

硅基陶瓷复合靶材:用于太阳能电池或光电器件的多功能涂层材料。

硬质合金陶瓷靶材:在工具涂层中用于提高耐磨和耐腐蚀性能。

生物陶瓷靶材:应用于医疗器械表面的生物相容性涂层。

纳米结构陶瓷靶材:用于高端电子元件的高密度薄膜沉积。

多孔陶瓷靶材:在过滤或催化应用中用于功能性薄膜制备。

检测标准

ASTME384材料硬度测试标准。

ISO18754精细陶瓷密度测定方法。

GB/T6569-2006陶瓷材料维氏硬度测试规范。

ISO3611维氏硬度试验通用要求。

GB/T24525-200炭素材料电阻率测试方法。

ASTMB311金属粉末密度测试规程。

ISO17561精细陶瓷热膨胀系数测定标准。

GB/T19619-2004纳米材料术语和定义。

ASTME112晶粒尺寸测定方法。

ISO14720-1陶瓷粉末取样和分析规范。

检测仪器

X射线衍射仪:用于晶相分析和晶粒尺寸测定,功能包括测量晶体结构参数和相比例。

扫描电子显微镜:观察微观形貌和孔隙分布,功能涵盖表面拓扑成像和元素映射。

密度测定装置:基于流体置换法计算密度,功能包括精确测量质量体积比。

硬度测试机:执行维氏或洛氏硬度测试,功能涉及压痕载荷施加和深度记录。

热膨胀仪:测定材料热膨胀行为,功能包括温度控制和尺寸变化监测。

电阻率测量系统:评估电导性能,功能涵盖四探针法电阻测试和数据处理。

检测流程

线上咨询或者拨打咨询电话;

获取样品信息和检测项目;

支付检测费用并签署委托书;

开展实验,获取相关数据资料;

出具检测报告。

北检(北京)检测技术研究院
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