元素组成EDX检测

北检院检测中心  |  完成测试:  |  2025-08-04  

EDX检测是一种基于X射线光谱的元素分析技术,用于非破坏性地识别和定量材料中的化学元素组成。该方法通过激发样品产生特征X射线,测量能量分布来确定元素种类和浓度,适用于各种固体材料的成分分析。检测要点包括元素识别精度、定量准确性及样品制备要求。

注意:因业务调整,暂不接受个人委托测试望见谅。

检测项目

元素定性分析:识别样品中的元素种类。检测参数包括元素检出限(通常0.1%-1%)和能量分辨率(约130eV)。

元素定量分析:测定元素的质量百分比或原子百分比。检测参数包括浓度范围(0.01%-100%)和相对误差(±5%)。

元素分布映射:生成元素在样品表面的空间分布图像。检测参数包括分辨率(约1μm)和扫描面积(最大10mm×10mm)。

夹杂物成分分析:确定材料中非金属夹杂物的元素组成。检测参数包括最小检测尺寸(约1μm)和元素比例精度(±3%)。

涂层厚度测量:评估涂层或薄膜的元素厚度。检测参数包括厚度范围(10nm-10μm)和测量精度(±5nm)。

合金成分测定:分析金属合金的主要和微量元素。检测参数包括元素检测限(如碳元素0.01%)和成分一致性偏差(±2%)。

污染物识别:检测样品表面的外来元素污染。检测参数包括污染物浓度下限(0.1μg/cm²)和元素鉴别灵敏度(约50ppm)。

矿物相分析:确定地质或陶瓷材料的矿物相组成。检测参数包括相识别误差(±1%)和元素关联图谱精度。

失效分析元素溯源:追溯电子器件失效原因的元素来源。检测参数包括缺陷尺寸阈值(0.5μm)和元素浓度对比度。

生物样品元素谱:分析生物组织中的元素分布。检测参数包括元素检出限(如钙元素0.05%)和扫描速度(约10s/点)。

检测范围

金属材料:各类钢材、铝合金、钛合金等。

陶瓷材料:氧化铝陶瓷、碳化硅复合材料等。

聚合物材料:工程塑料、橡胶制品添加剂等。

电子元件:半导体芯片、电路板组件等。

地质样品:岩石矿物、土壤颗粒等。

生物医学样品:骨骼组织、细胞切片等。

环境颗粒物:空气粉尘、水沉积物等。

考古文物:陶瓷碎片、金属文物等。

制药原料:活性药物成分中的元素杂质等。

食品添加剂:包装材料中的金属元素残留等。

检测标准

ASTM E1508-12:能量色散光谱定量分析标准规范。

ISO 22309:2011:微束分析使用能量色散谱定量分析。

GB/T 20716-2006:电子探针定量分析方法通则。

GB/T 29758-2013:扫描电子显微镜能谱分析方法。

ISO 15632:2021:微束分析X射线光谱仪规范。

检测仪器

能量色散X射线光谱仪:激发样品产生特征X射线。用于元素识别和定量分析功能。

扫描电子显微镜:提供高分辨率样品成像。结合光谱仪实现表面元素映射功能。

样品溅射镀膜机:在样品表面喷涂导电层。用于提高非导电样品检测稳定性功能。

液氮冷却系统:降低检测器温度。用于减少噪声和提升元素分辨率功能。

光谱分析软件:处理原始X射线数据。用于生成元素浓度报告和分布图功能。

真空样品室:维持低气压环境。用于防止空气干扰X射线测量功能。

检测流程

线上咨询或者拨打咨询电话;

获取样品信息和检测项目;

支付检测费用并签署委托书;

开展实验,获取相关数据资料;

出具检测报告。

北检(北京)检测技术研究院
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