能量分散谱分析检测

检测项目

元素定性分析：识别样品中元素种类；检测参数：特征峰能量位置（单位：keV）。

元素定量分析：测量元素浓度；检测参数：峰强度比、校准曲线精度（误差≤5%）。

元素分布图：显示表面元素空间分布；检测参数：像素分辨率（最小1μm）、映射区域尺寸（范围1mm）。

线扫描分析：沿路径元素梯度变化；检测参数：扫描步长（0.1-10μm）、点分析时间（1-60秒）。

点分析：微区元素组成测定；检测参数：分析点直径（≥5nm）、X射线采集时间（5-300秒）。

轻元素检测：分析碳、氧等元素；检测参数：薄窗口厚度（≤0.3μm）、背景噪声水平（计数≤100）。

能谱分辨率评估：系统能量分辨率测量；检测参数：半高宽（FWHM，目标≤130eV）。

检测限计算：最小可检出浓度；检测参数：信噪比（≥3）、背景计数统计（偏差5%）。

峰去卷积处理：分离重叠峰；检测参数：拟合算法迭代次数、峰形函数参数（高斯模型）。

样品电荷控制：减少电子束干扰；检测参数：电子束电流（0.1-10nA）、加速电压（5-30kV）。

定量校正应用：基体效应补偿；检测参数：ZAF校正因子、标准样品参考值。

元素面分布叠加：多元素分布可视化；检测参数：色彩编码方案、元素选择阈值。

检测范围

金属合金：钢、铝、铜等成分分析与相鉴定。

陶瓷材料：氧化物、碳化物相组成与杂质检测。

聚合物复合材料：填料分布、添加剂元素识别。

电子元器件：半导体芯片封装、焊点元素异常分析。

地质样品：矿物组成分类、岩石元素分布研究。

生物材料：细胞组织元素映射（需冷冻固定处理）。

环境颗粒物：空气粉尘元素溯源与污染源鉴定。

考古文物：古物表面成分无损检测与年代分析。

制药制剂：药物结晶形态元素分布评估。

纳米结构材料：纳米粒子组成与尺寸关联分析。

涂层薄膜：镀层厚度梯度、元素扩散研究。

失效分析：断裂部位元素偏析检测。

检测标准

ASTME1508:UncertaintyQuantificationinEnergy-DispersiveX-raySpectrometry.

ISO22309:QuantitativeAnalysisUsingEnergy-DispersiveSpectrometry.

GB/T17359:ElectronProbeMicroanalysisGeneralSpecifications.

GB/T18873:QuantitativeAnalysisMethodsbyEDSinScanningElectronMicroscopy.

ASTME1588:MinimumDetectableConcentrationDeterminationforEDS.

ISO15471:SurfaceChemicalAnalysisVocabulary.

ASTME766:CalibrationofSEMMagnification.

GB/T16594:ParticleSizeAnalysisbyElectronMicroscopy.

检测仪器

扫描电子显微镜-能谱系统：集成成像与元素分析；功能：表面形貌观察与X射线能谱采集。

硅漂移探测器：高分辨率X射线检测；功能：快速能谱采集（分辨率≤130eV）。

样品溅射镀膜设备：导电层沉积；功能：减少电荷积累，提高分析稳定性。

能谱处理软件：数据采集与分析；功能：峰值识别、定量计算、分布图生成。

认证标准样品套装：元素浓度参考；功能：校准定量分析精度。

真空系统：环境控制；功能：维持高真空（≤10⁻⁶mbar），确保检测效率。

检测流程

线上咨询或者拨打咨询电话;

获取样品信息和检测项目;

支付检测费用并签署委托书;

开展实验，获取相关数据资料;

出具检测报告。