机构密封性氦质谱检漏检测

检测项目

密封腔体氦泄漏率测定：量化腔体整体泄漏值，检测参数0.1～110^{-12}Pam/s。

真空系统漏孔定位：扫描探测局部泄漏点，分辨率优于510^{-10}Pam/s。

材料渗透性检测：测量气体透过率，参数范围110^{-15}～110^{-8}cm/s。

焊缝密封性验证：评估焊接接头完整性，检出限≤510^{-9}Pam/s。

密封圈失效判定：检测弹性体密封件老化泄漏，灵敏度110^{-9}Pam/s。

电子元件封装测试：评估芯片封装气密性，最小可检漏率110^{-12}Pam/s。

阀门阀座泄漏检测：测定关闭状态泄漏量，参数阈值510^{-6}Pam/s。

管道连接点筛查：法兰/螺纹连接密封评估，定位精度2mm。

压力容器周期性验证：年泄漏率监测，精度10%读数。

真空镀膜设备检漏：维持真空度≥10^{-5}Pa背景环境。

低温系统泄漏监测：液氮环境下最小检出率110^{-11}Pam/s。

多层绝热材料测试：层间漏率测定，范围10^{-10}～10^{-7}Pam/s。

检测范围

航空航天推进系统：火箭燃料贮箱密封性验证。

核工业安全壳：反应堆压力边界完整性监测。

医用植入器械：心脏起搏器封装气密性检测。

半导体制造设备：晶圆传输腔室真空保持能力。

高能物理装置：粒子加速器真空管道系统。

汽车燃料电池堆：氢气管路泄漏控制。

电力变压器：绝缘油密封系统评估。

真空冷冻干燥机：舱体密封性能验证。

地源热泵系统：制冷剂回路密封检测。

科研真空装置：同步辐射光源储存环维护。

深潜装备耐压舱：水密结构完整性测试。

检测标准

ASTME499-22示踪气体检漏方法标准规范

ISO20486:2017真空技术泄漏检测校准

GB/T13979-2022质谱检漏仪校验规范

GB/T15823-2009氦泄漏检测方法

ASMEBPVCVArticle10压力容器真空检漏

EJ/T20036-2014核设施氦质谱真空检漏

EN1779:1999泄漏检测方法选择准则

MIL-STD-750-3电子器件密封试验方法

SAEAS7112航空航天流体系统检漏

IEC60068-2-17电工产品密封试验

检测仪器

四极杆质谱检漏仪：质量数分析器识别氦离子信号，最小可检漏率510^{-13}Pam/s。

分子泵真空机组：建立10^{-5}Pa检测背景，抽速≥500L/s。

氦气喷枪组件：局部扫描用可控氦气流装置，流量调节范围0.05-5L/min。

累积检测室：密封件定量测试容器，容积精度1%FS。

参考漏孔校准装置：产生标准漏率值，不确定度≤5%。

检测流程

线上咨询或者拨打咨询电话;

获取样品信息和检测项目;

支付检测费用并签署委托书;

开展实验，获取相关数据资料;

出具检测报告。