成分激光剥蚀检测

检测项目

微区元素定性分析：通过激光剥蚀样品表面μm级微区，结合质谱或光谱技术识别元素种类，剥蚀斑点直径1~100μm，元素检测范围Li~U。

微区元素定量分析：对激光剥蚀区域的元素含量进行定量测定，定量精度≤5%（取决于元素浓度），最低检测限1~100ppb（视元素而定）。

痕量元素分析：检测样品中ppm~ppb级痕量元素成分，痕量元素检测限0.1~10ppb（如Pb、Cd、As等），线性动态范围≥5个数量级。

元素空间分布表征：分析元素在样品表面或截面的空间分布情况，空间分辨率≤1μm（激光剥蚀系统），成像像素尺寸≤0.5μm（质谱/光谱仪）。

多层膜成分深度剖析：对多层薄膜样品进行逐层剥蚀，分析各层元素组成，深度分辨率≤10nm（取决于激光能量和频率），层数分析能力≥10层。

异质材料界面成分分析：检测异质材料界面处的元素扩散或偏析情况，界面区域分析宽度≤5μm，元素扩散深度分辨率≤20nm。

粉末样品成分均匀性检测：分析粉末颗粒的元素组成均匀性，单颗粒分析尺寸≥1μm，颗粒统计数量≥100个/样品。

金属合金相成分分析：识别金属合金中各相的元素组成，相区分析面积≤10μm10μm，相成分定量误差≤3%。

陶瓷材料微区成分分析：检测陶瓷材料中晶粒、晶界的元素分布，晶粒分析直径≥2μm，晶界元素富集因子检测限≤1.5倍。

高分子材料填充剂成分分析：分析高分子材料中填充剂（如炭黑、玻纤）的元素组成及分布，填充剂颗粒识别尺寸≥0.5μm，元素含量测定精度≤4%。

电子元件镀层成分分析：检测电子元件镀层（如Au、Ag、Ni）的元素组成及厚度，镀层厚度分析范围0.1~10μm，成分定量精度≤2%。

检测范围

半导体材料：如硅晶圆、化合物半导体（GaAs、InP），用于检测微区杂质、掺杂元素分布。

金属合金：如铝合金、钛合金、不锈钢，用于分析相成分、痕量合金元素及夹杂。

陶瓷材料：如氧化锆陶瓷、氮化硼陶瓷，用于表征晶粒与晶界成分、杂质元素。

高分子材料：如塑料、橡胶、纤维，用于检测填充剂成分、添加剂分布及降解产物。

地质矿物：如矿石、矿物样品，用于微区元素定性、定量及成矿规律研究。

生物医药材料：如骨科植入物（钛合金、陶瓷）、药物载体（聚合物微球），用于检测表面成分及降解产物。

电子元件：如芯片封装材料、印刷电路板（PCB），用于分析焊盘成分、镀层厚度及杂质。

环境样品：如大气颗粒物、土壤沉积物，用于检测痕量重金属元素及来源分析。

考古样品：如青铜器、陶瓷器，用于分析合金成分、制作工艺及腐蚀产物。

新能源材料：如锂电池正极材料（LiCoO2、LiFePO4）、光伏材料（晶硅、薄膜），用于检测元素组成及分布均匀性。

纳米材料：如纳米颗粒、纳米薄膜，用于分析纳米结构中的元素分布及纯度，纳米颗粒分析尺寸≥10nm，元素分布分辨率≤5nm。

检测标准

ASTME1508-17：激光剥蚀电感耦合等离子体质谱法（LA-ICP-MS）分析金属合金的标准试验方法。

ISO17973:2002：表面化学分析——激光剥蚀-电感耦合等离子体质谱法（LA-ICP-MS）用于固体材料的微区分析。

GB/T39144-2020：激光剥蚀-电感耦合等离子体质谱法（LA-ICP-MS）测定地质样品中痕量元素。

GB/T40109-2021：金属材料激光剥蚀-电感耦合等离子体质谱法（LA-ICP-MS）分析方法通则。

ASTMC1366-18：陶瓷材料激光剥蚀电感耦合等离子体发射光谱法（LA-ICP-OES）分析的标准试验方法。

ISO22309:2011：微束分析——激光剥蚀扫描电子显微镜（LA-SEM）用于材料微区成分分析。

GB/T29732-2013：表面化学分析激光剥蚀-飞行时间质谱法（LA-TOF-MS）分析固体材料的通则。

ASTME2802-11：激光剥蚀电感耦合等离子体发射光谱法（LA-ICP-OES）分析高分子材料中填充剂成分的标准试验方法。

GB/T38052-2019：激光剥蚀-电感耦合等离子体发射光谱法（LA-ICP-OES）测定钢铁中痕量元素。

ISO14706:2014：表面化学分析——激光剥蚀-二次离子质谱法（LA-SIMS）用于固体材料的微区分析。

检测仪器

激光剥蚀系统：用于剥蚀样品表面微区产生气溶胶颗粒，剥蚀斑点直径可调1~100μm，剥蚀速率可控0.1~10μm/s，支持线扫描、面扫描模式。

电感耦合等离子体质谱仪（ICP-MS）：与激光剥蚀系统联用分析气溶胶中元素组成，元素检测范围Li~U，最低检测限0.1~10ppb，分辨率≤0.5amu。

激光剥蚀飞行时间质谱仪（LA-TOF-MS）：用于固体样品微区成分快速分析，质谱分辨率≥5000，数据采集速率≥100谱图/秒，支持多元素同时检测。

激光诱导击穿光谱仪（LIBS）：与激光剥蚀系统结合实现实时元素分析，元素检测范围Na~U，最低检测限1~100ppm，响应时间≤1ms。

扫描电子显微镜-激光剥蚀联用系统（SEM-LA）：用于样品表面形貌观察与微区成分分析同步进行，SEM分辨率≤1nm，激光剥蚀斑点直径≤5μm，支持形貌与成分图像叠加。

激光剥蚀电感耦合等离子体发射光谱仪（LA-ICP-OES）：用于高浓度元素定性定量分析，元素检测范围B~U，线性动态范围≥6个数量级，精度≤2%（高浓度元素）。

二次离子质谱仪（SIMS）：与激光剥蚀系统联用分析微区元素组成，质量分辨率≥10000，检测限≤1ppb（痕量元素），空间分辨率≤1μm。

检测流程

线上咨询或者拨打咨询电话;

获取样品信息和检测项目;

支付检测费用并签署委托书;

开展实验，获取相关数据资料;

出具检测报告。