真空泄漏率测定检测

北检院检测中心  |  完成测试:  |  2025-08-20  

真空泄漏率测定检测是精确量化密封系统气体逸失速率的专业方法,核心要点包括高灵敏度测量技术、泄漏位置辨识和环境适应性。检测涉及静态与动态泄漏评估、示踪气体应用及压力变化分析,确保系统密封完整性。

注意:因业务调整,暂不接受个人委托测试望见谅。

检测项目

静态泄漏测试:测量系统在恒定真空条件下的泄漏速率。具体检测参数包括初始压力、压力上升率(Pa/min)和泄漏率计算(mbar·l/s)。

动态泄漏测试:评估泵运行状态下的泄漏性能。具体检测参数包括进气流量、平衡压力值和泄漏平衡时间(s)。

氦气示踪检测:使用氦气作为示踪剂定位微小泄漏点。具体检测参数包括氦浓度检测限(ppm)、泄漏速率灵敏度(10^{-9} mbar·l/s)和扫描分辨率。

质谱分析泄漏测试:通过气体成分分析识别泄漏源。具体检测参数包括质谱灵敏度(mbar·l/s)、气体谱峰识别和背景噪声抑制。

压力上升法:监测真空室压力变化以推导泄漏率。具体检测参数包括时间间隔(min)、压力差(Pa)和容积补偿因子。

累积气体体积测量:收集泄漏气体并量化体积累积。具体检测参数包括累积时间(h)、气体体积读数(ml)和温度校正系数。

嗅探探头定位测试:手持探测器扫描表面定位泄漏位置。具体检测参数包括探头灵敏度(mbar·l/s)、响应时间(ms)和扫描速度。

卤素气体检测:应用于制冷系统泄漏辨识。具体检测参数包括卤素浓度阈值(ppb)、泄漏点响应信号和环境干扰排除。

气泡测试法:浸入液体中观察气泡生成。具体检测参数包括气泡形成频率(Hz)、气泡尺寸(mm)和测试压力设置(bar)。

真空罩局部测试:使用密封罩隔离区域进行分步检测。具体检测参数包括局部泄漏率(mbar·l/s)、罩内压力稳定性和密封完整性评估。

热导率泄漏检测:基于气体热导变化推断泄漏。具体检测参数包括热导传感器输出(mV)、温度梯度(°C)和泄漏响应曲线。

超声波泄漏检测:捕获泄漏产生的声波信号。具体检测参数包括声压级(dB)、频率范围(kHz)和噪声过滤阈值。

检测范围

真空泵系统:工业真空泵和阀门组件密封性能评估。

航空航天舱体:航天器压力容器和燃料系统环境耐受性验证。

半导体制造设备:光刻机和蚀刻腔体防污染泄漏控制。

医疗诊断仪器:血液分析仪和真空包装设备安全性测试。

汽车制动系统:车辆制动液管路和油箱耐久性检测。

制冷空调设备:空调压缩机和冰箱管路制冷剂泄漏检查。

工业气体管道:高压气体输送系统完整性评估。

药品包装容器:真空密封瓶和泡罩包装防渗透验证。

电子显示面板:真空管和液晶屏气体渗透防护检测。

实验室真空设备:干燥箱和离心机操作安全认证。

核反应堆密封:核设施压力边界安全关键泄漏监测。

食品真空包装:保鲜袋和罐头密封完整性检验。

检测标准

ISO 20484:2017真空技术泄漏检测方法规定测试程序。

ASTM E493/E493M使用质谱仪的泄漏检测标准方法。

GB/T 17233-2008真空泄漏检测术语和定义规范。

ISO 1608-1真空泵性能测试中泄漏率测量准则。

GB/T 3163-2007真空技术基本术语标准化要求。

ASTM E499使用示踪气体的泄漏检测标准实践。

ISO 3567真空法兰连接泄漏测试通用方法。

GB/T 6070-2007真空技术泄漏检测方法通用规则。

检测仪器

氦质谱检漏仪:高灵敏度仪器用于检测微小气体泄漏。在该检测中定位泄漏点并量化泄漏率至10^{-12} mbar·l/s。

真空压力计:精密仪表测量真空系统压力变化。在该检测中监测泄漏引起的压力上升用于泄漏率计算。

质谱分析装置:设备分析泄漏气体成分。在该检测中识别气体谱峰以确定泄漏源特性。

嗅探探头探测器:手持式扫描工具定位表面泄漏。在该检测中实时响应泄漏信号用于现场定位。

压力传感器系统:高精度传感器记录压力差值。在该检测中提供数据输入用于泄漏速率推导。

超声波检测仪:设备捕获泄漏产生的声波。在该检测中通过声压分析实现非侵入式定位。

气泡测试设备:装置观察液体中气泡形成。在该检测中可视化泄漏点并评估泄漏强度。

检测流程

线上咨询或者拨打咨询电话;

获取样品信息和检测项目;

支付检测费用并签署委托书;

开展实验,获取相关数据资料;

出具检测报告。

北检(北京)检测技术研究院
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