真空漏率定量检测

北检院检测中心  |  完成测试:  |  2025-08-20  

真空漏率定量检测专注于精确测量真空系统中气体泄漏速率,确保密封完整性。核心要点包括泄漏率量化、泄漏源定位、真空度维持评估及参数准确性控制。涉及高灵敏度方法如氦质谱测试,应用于航天、半导体等高要求领域。检测过程遵循严格标准,强调参数精确性和环境适配性。

注意:因业务调整,暂不接受个人委托测试望见谅。

检测项目

泄漏率量化测量:测定单位时间内气体泄漏量。具体检测参数包括测量范围10^-12至10^-3 Pa·m³/s,精度±5%。

真空压力衰变测试:监测系统压力随时间下降速率。具体检测参数包括时间分辨率低于0.1秒,压力范围10^-6至10^3 Pa。

氦质谱泄漏检测:利用氦气作为示踪气体识别微小泄漏点。具体检测参数包括灵敏度达10^-10 Pa·m³/s,响应时间小于2秒。

累积泄漏总量测定:计算特定时间间隔内总泄漏量。具体检测参数包括积分时间可调1至3600秒,泄漏量精度±3%。

密封接口完整性测试:评估连接部位密封性能。具体检测参数包括压力差范围0至100 kPa,泄漏阈值设定0.1 Pa·m³/s。

材料渗透率评估:分析材料自身气体渗透特性。具体检测参数包括温度范围-50℃至150℃,渗透率单位cm³/s。

动态泄漏实时监测:在线监控运行系统中泄漏变化。具体检测参数包括采样频率10 Hz,实时数据显示延迟低于100 ms。

真空系统校准验证:校对测量设备精确度。具体检测参数包括标准泄漏源参考值10^-9 Pa·m³/s,校准不确定度±2%。

环境模拟漏率测试:在可变条件下评估泄漏行为。具体检测参数包括温度范围-70℃至200℃,湿度范围0%至100%。

流量计基准测试:校准气体流量测量仪器。具体检测参数包括流量范围0.1 ml/min至10 L/min,线性误差±1%。

检测范围

航空航天密封组件:飞船压力舱、推进系统燃料罐密封性检测。

半导体制造设备:晶圆处理真空腔室、蚀刻机密封接口泄漏评估。

医疗真空装置:呼吸机管路、灭菌器真空系统密封性能测试。

食品真空包装材料:保鲜膜、容器密封完整性定量检测。

汽车燃油系统:油箱、燃油泵连接处泄漏率测量。

工业真空炉:热处理设备腔室密封及真空维持能力验证。

建筑中空玻璃单元:玻璃间隔层密封泄漏量化分析。

制冷空调系统:压缩机、制冷管路密封性检测。

核电站反应堆组件:冷却系统密封泄漏监控。

实验室真空仪器:真空泵、阀门接口泄漏率定量评估。

检测标准

ASTM E499:使用示踪气体法测量真空泄漏率的标准方法。

ISO 27893:真空技术相关术语和泄漏测试规范。

GB/T 真空漏率测试方法:定量泄漏率测量的国家标准程序。

JIS B 8310:真空泵及系统泄漏检测的日本工业标准。

DIN 28400:真空技术基础及密封测试的德国标准。

MIL-STD-883:军事设备密封性定量检测规范。

EN 1330-8:欧洲泄漏检测术语和测试指南。

检测仪器

氦质谱检漏仪:检测微小泄漏并定量泄漏率,功能包括示踪气体分析及灵敏度控制。

真空压力计:测量系统真空度变化,功能包括实时压力监控及数据记录。

流量校准装置:校对气体流量测量准确性,功能包括泄漏量基准设定及误差校正。

压力衰减测试器:通过压力下降计算漏率,功能包括快速密封性评估及阈值报警。

渗透测试仪:评估材料气体渗透特性,功能包括温度湿度控制及渗透率量化。

检测流程

线上咨询或者拨打咨询电话;

获取样品信息和检测项目;

支付检测费用并签署委托书;

开展实验,获取相关数据资料;

出具检测报告。

北检(北京)检测技术研究院
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