原子力显微形貌扫描检测

检测项目

表面形貌扫描：获取样品表面三维形貌图像，检测参数包括扫描范围100μm x 100μm，分辨率0.1nm。

粗糙度分析：计算表面粗糙度参数如算术平均粗糙度Ra和均方根粗糙度Rq，参数范围Ra 0.1nm to 100nm。

杨氏模量测量：通过力曲线分析测量局部弹性模量，检测参数力范围1nN to 100nN。

粘附力测试：测量探针与样品间的粘附力，参数力分辨率0.1nN。

摩擦力映射：使用横向力显微镜模式测量表面摩擦力，参数横向力灵敏度10pN。

导电性能测试：通过导电原子力显微镜测量表面电导率，参数电压偏置-10V to +10V。

磁畴成像：利用磁力显微镜检测表面磁畴结构，参数提升高度100nm。

相成像分析：基于粘弹性特性区分材料不同相，参数相位滞后0-360度。

纳米压痕测试：进行局部压痕测量硬度，参数压痕深度1-100nm。

表面电位测量：使用开尔文探针力显微镜测量表面电位，参数电位分辨率10mV。

检测范围

半导体材料：硅晶圆、砷化镓等电子材料表面形貌和缺陷分析。

金属薄膜：铜、铝等金属涂层的表面粗糙度和力学性能评估。

高分子聚合物：聚乙烯、聚丙烯的表面粘附性和形貌特征。

生物样本：细胞膜、蛋白质结构的纳米级成像和力学特性。

纳米材料：碳纳米管、石墨烯的形貌和电学性能测量。

陶瓷材料：氧化铝、氮化硅的表面缺陷和粗糙度检测。

复合材料：碳纤维增强聚合物的界面形貌和机械性能分析。

光学涂层：抗反射薄膜的厚度均匀性和表面质量评估。

微机电系统：MEMS设备的表面形貌和机械性能测试。

矿物样品：岩石和矿物表面的形貌研究和成分分析。

检测标准

ASTM E2859-11：原子力显微镜校准标准方法。

ISO 11039:2010：表面形貌测量和参数定义标准。

GB/T 19619-2004：纳米尺度长度测量技术规范。

ISO 25178-2：表面纹理参数的定义和测量标准。

ASTM D5946-04：聚合物表面形貌测试方法。

GB/T 23414-2009：微纳尺度力学性能测试指南。

ISO 13095:2014：原子力显微镜性能表征标准。

GB/T 33252-2016：纳米材料表面形貌测量规范。

检测仪器

原子力显微镜：高分辨率表面成像仪器，功能包括形貌扫描、力学性能测试和电学测量。

硅探针：标准接触模式探针，用于形貌扫描和力曲线测量。

碳纳米管探针：高纵横比探针，适用于深沟槽和复杂结构扫描。

压电扫描器：控制探针或样品移动的组件，扫描范围可达100μm。

光学检测系统：基于光学杠杆原理检测探针偏转，灵敏度达亚纳米级。

控制系统软件：设置扫描参数、数据采集和分析，支持多种检测模式。

检测流程

线上咨询或者拨打咨询电话;

获取样品信息和检测项目;

支付检测费用并签署委托书;

开展实验，获取相关数据资料;

出具检测报告。