氦气检漏灵敏度检测

检测项目

灵敏度校准：通过标准泄漏源对检测系统进行校准，确保测量结果的准确性和可追溯性，通常使用已知泄漏率的参考装置。

泄漏率测量：定量测定密封单元在特定条件下的氦气泄漏率，用于评估系统完整性是否符合设计标准。

背景氦气水平检测：监测测试环境中的本底氦气浓度，消除外部干扰因素对检测结果的影响，保证数据真实性。

系统响应时间测试：评估检测仪器从泄漏发生到信号输出的时间延迟，确保快速响应以捕捉瞬时泄漏事件。

最小可检泄漏率确定：通过逐步降低泄漏源强度，确定检测系统能够可靠识别的最小泄漏率值，表征仪器性能极限。

泄漏定位精度评估：使用探头或扫描方法精确识别泄漏点的位置，提高维修效率并减少误判风险。

环境温度影响测试：考察温度变化对检漏灵敏度的效应，确保检测在不同工况下的稳定性和一致性。

压力变化适应性检测：验证系统在高压或真空条件下的检测能力，适应实际应用中的压力波动场景。

仪器稳定性验证：长期运行测试以检查仪器漂移和重复性，确保检测结果随时间推移仍保持可靠。

重复性测试：多次进行相同泄漏检测以评估系统输出的一致性，确保障碍因素不会导致数据偏差。

检测范围

半导体制造设备：用于芯片生产中的真空腔体和管道系统，高灵敏度检漏确保无尘环境并防止污染导致的失效。

航空航天燃料系统：涉及飞机和火箭的燃料储罐与输送管线，检漏防止泄漏引发的安全事故性能下降。

汽车空调系统：汽车制冷回路中的冷凝器和蒸发器，检测确保制冷剂不泄漏以维持系统效率和环保性。

医疗设备密封：如MRI机器和呼吸机的密封部件，检漏保证设备安全运行并避免生物污染风险。

核电站管道：核反应堆冷却系统和辐射 containment，高精度检漏防止放射性物质泄漏和环境危害。

真空系统组件：科研和工业用真空泵与腔体，检漏维持真空度并确保实验或生产过程的稳定性。

液化天然气储罐：LNG储存和运输设施，检测防止易燃气体泄漏从而保障操作安全和经济性。

电子封装：微电子器件的密封包装，检漏确保防潮和防氧化保护延长器件寿命和可靠性。

化工反应釜：化学加工中的压力容器，检漏避免有害物质逸出并保护工作人员健康。

食品包装容器：罐头和密封食品包装，检测维持产品新鲜度并防止腐败微生物侵入。

检测标准

ASTM E499-95《JianCe Test Method for Leaks Using the Mass Spectrometer Leak Detector in the Detector Probe Mode》：规定了使用质谱检漏仪在探测器探头模式下的泄漏测试方法，适用于氦气检漏的灵敏度和精度要求。

ISO 20485:2017《Non-destructive testing — Leak testing — Tracer gas method》：国际标准针对示踪气体检漏技术，涵盖了氦气检漏的通用程序、设备要求和结果 interpretation。

GB/T 12604.7-2014《无损检测 术语 泄漏检测》：中国国家标准定义了泄漏检测的相关术语和方法，包括氦气检漏的测试条件和评价准则。

ASTM E1603-11《JianCe Practice for Leakage Measurement Using the Mass Spectrometer Leak Detector in the Inside-Out Testing Mode》：提供了从内向外测试模式的泄漏测量实践，适用于密封容器的氦气检漏灵敏度验证。

GB/T 18442.6-2019《压力容器泄漏检测方法》：中国标准针对压力容器的泄漏检测，包括氦气检漏的技术要求和测试程序。

检测仪器

质谱检漏仪：高灵敏度仪器利用质谱原理检测氦气离子，用于定量测量微小泄漏率，是本检测的核心设备。

氦气质谱仪：专用质谱仪聚焦氦气分析，提供低至10-12 mbar·L/s的检测限，适用于高精度泄漏定位和测量。

标准泄漏源：可调或固定泄漏率的参考装置，用于校准检漏系统，确保测量准确性和 traceability。

真空泵系统：提供并维持测试所需的真空环境，消除背景干扰，保证检漏过程的稳定性和一致性。

数据采集系统：电子设备记录和分析检测信号，输出泄漏率数据和图表，支持结果 evaluation 和报告生成。

检测流程

线上咨询或者拨打咨询电话;

获取样品信息和检测项目;

支付检测费用并签署委托书;

开展实验，获取相关数据资料;

出具检测报告。