半导体腔体检漏检测

氦质谱检漏测试：利用氦气作为示踪气体，通过质谱仪检测微小泄漏，灵敏度可达10-12 mbar·L/s，适用于高真空腔体的精确泄漏定位和定量分析，确保半导体设备密封可靠性。

压力衰减检漏测试：通过监测腔体内部压力随时间的变化，计算泄漏率，方法简单易行，适用于中低真空环境，常用于生产线快速筛查和定期维护检查。

气泡法检漏测试：将腔体浸入液体或涂抹发泡剂，观察气泡形成以定性检测泄漏点，成本较低，适用于粗略泄漏定位和现场初步评估，但灵敏度有限。

卤素检漏测试：使用卤素气体作为示踪剂，通过传感器检测泄漏，灵敏度较高，适用于特定气体环境下的腔体检漏，常用于制冷或特殊工艺设备。

氢质谱检漏测试：以氢气为示踪气体，利用质谱技术检测泄漏，具有高灵敏度和快速响应特点，适用于半导体高洁净度要求的腔体检测。

真空度保持测试：评估腔体在抽真空后压力保持能力，通过长时间监测压力变化判断密封性能，适用于真空系统长期稳定性验证。

泄漏率定量分析：结合数学模型和实测数据，计算精确泄漏率值，提供标准化报告，用于合规性评估和工艺优化参考。

密封件耐久性测试：模拟实际工况下的循环载荷，检验密封材料的老化和失效特性，确保腔体在长期使用中的密封可靠性。

温度循环泄漏测试：在高温和低温交替环境下进行检漏，评估热胀冷缩对密封性能的影响，适用于宽温区应用的半导体设备。

振动环境泄漏测试：在机械振动条件下检测泄漏，模拟运输或运行中的动态应力，验证腔体结构完整性和密封耐久性。

声学检漏测试：通过超声波传感器检测泄漏产生的声波信号，实现非接触式定位，适用于复杂结构腔体的快速巡检。

质谱仪校准测试：定期对检漏仪器进行标准气体校准，确保测量准确性和可追溯性，维护检测结果的可靠性和一致性。

检测范围

半导体反应腔：用于化学气相沉积或蚀刻工艺的密闭容器，需保持高真空或特定气体环境，泄漏会导致工艺污染和产品缺陷。

真空镀膜设备腔体：在半导体制造中用于薄膜沉积的真空腔，泄漏影响涂层均匀性和附着力，需定期检漏保障工艺质量。

蚀刻设备密封腔：容纳腐蚀性气体的工艺腔体，泄漏可能引发安全事故，检漏确保操作人员安全和设备寿命。

化学气相沉积腔：涉及高温高压反应的腔体，泄漏会导致反应气体逸散，影响薄膜生成效率和器件性能。

物理气相沉积腔：通过溅射或蒸发制备薄膜的真空腔，泄漏破坏真空度，导致沉积速率不稳定和杂质引入。

晶圆传输腔：连接不同工艺模块的过渡腔体，泄漏会引起颗粒污染或压力波动，影响晶圆处理精度。

负载锁腔：用于晶圆进出真空环境的缓冲腔，泄漏导致大气渗入，破坏主腔体真空完整性并增加能耗。

工艺模块集成腔体：多腔体系统中的密封单元，泄漏可能引发交叉污染，需整体检漏以确保系统协同工作。

真空阀门组件：控制气体流动的关键部件，泄漏影响系统密封性，检漏验证阀门开关过程中的密封耐久性。

密封法兰连接件：腔体之间的机械连接部分，泄漏常发生于接口处，检漏用于定位和修复薄弱环节。

高真空泵组腔体：维持系统真空度的泵送单元，泄漏降低抽气效率，需检漏优化系统性能和能耗。

特种气体输送腔：处理有毒或易燃气体的密闭容器，泄漏可能造成环境危害，检漏是安全合规的必要步骤。

检测标准

ASTM E499/E499M-2011《标准实践用于质谱仪检漏器测试》：规定了使用质谱仪进行泄漏检测的方法，包括校准、测试程序和灵敏度要求，适用于半导体腔体的高精度检漏。

ISO 3530:2019《真空技术-泄漏检测方法》：国际标准涵盖多种检漏技术，如氦质谱和压力衰减法，提供泄漏率计算和测试条件规范，确保结果可比性。

GB/T 12604.7-2015《无损检测 术语 泄漏检测》：中国国家标准定义了泄漏检测相关术语和方法分类，为半导体行业检漏提供统一技术语言。

ASTM E1603-2011《标准实践用于压力衰减检漏》：详细描述压力衰减法的测试步骤、仪器要求和数据分析，适用于中低压腔体的泄漏评估。

ISO 20484:2017《泄漏检测系统的校准和验证》：规定了检漏设备的校准流程和性能验证方法，确保测量准确性和国际互认。

GB/T 17712-2021《真空技术 泄漏检测方法通则》：中国标准概述泄漏检测的基本原则和适用场景，指导半导体设备检漏的实施和报告。

检测仪器

氦质谱检漏仪：采用质谱原理检测氦气泄漏的专用设备，灵敏度高达10-12 mbar·L/s，用于半导体腔体的高精度定量检漏和泄漏点定位。

压力传感器：测量腔体内部压力变化的电子器件，精度可达±0.5%满量程，在压力衰减测试中实时监控压力值，计算泄漏率。

真空计：用于监测真空系统压力的仪器，如皮拉尼计或电容薄膜计，在检漏过程中提供真空度数据，辅助判断密封状态。

流量计：测量气体流动速率的设备，精度高，适用于泄漏率定量分析，通过流量变化间接评估腔体密封性能。

数据采集系统：集成传感器和软件的平台，实时记录和处理检漏数据，实现自动化测试和报告生成，提高检测效率。

超声波检漏仪：通过检测泄漏产生的超声波信号进行定位，适用于非接触式快速巡检，在复杂腔体结构中辅助泄漏点识别。

检测流程

线上咨询或者拨打咨询电话;

获取样品信息和检测项目;

支付检测费用并签署委托书;

开展实验，获取相关数据资料;

出具检测报告。