系统气密性氦检漏试验

检测项目

总泄漏率测定：测量整个被测系统在特定压力下的总气体泄漏速率，是评价系统密封性能的核心指标。

漏点定位：使用喷吹法或吸枪法精确找出系统中具体泄漏点的物理位置，为维修提供依据。

密封焊缝检测：针对系统的所有焊接接头进行高灵敏度扫描，确保焊缝无贯穿性缺陷。

法兰连接处检测：检查所有法兰密封面及垫片区域的密封完整性，防止界面泄漏。

阀门密封性检测：评估阀门阀杆、阀座等动/静密封点的内漏与外漏情况。

仪表接口检测：对压力表、传感器、变送器等仪表的连接螺纹和过程接口进行检漏。

视镜与观察窗检测：检查玻璃与金属压盖之间的密封性能，确保其承压密封可靠。

穿舱件与电气接口检测：评估电缆、导管等穿过舱壁的密封装置的密封效果。

安全阀与爆破片装置检测：在设定压力下，检查其上游连接管路及阀座本身的密封性。

系统保压测试辅助验证：作为高精度手段，验证传统保压试验中微小压力降的真实泄漏原因。

检测范围

真空设备与容器：如真空炉、镀膜机、粒子加速器真空室等，要求极低漏率以维持高真空。

压力容器与管道系统：包括反应釜、储罐、化工管线等，防止有毒有害或易燃易爆介质泄漏。

制冷与空调系统：检测冰箱、冷库、中央空调的制冷回路，确保冷媒不泄漏，提升能效。

航空航天产品：应用于飞机油箱、座舱、航天器推进系统、生命保障系统等关键密封部件。

汽车制造领域：检测发动机燃油系统、蒸发排放系统、空调系统、安全气囊气体发生器等。

电力行业设备：如发电机氢冷系统、变压器、SF6高压开关设备等，保障设备安全稳定运行。

半导体制造设备：晶圆加工、刻蚀、CVD等设备腔体及其气体输送系统，对洁净度与密封要求极高。

医疗器械：血液透析机、麻醉机、呼吸机等设备中与液体或气体接触的密封回路。

科研实验装置：各种需要高纯度气体环境或负压环境的实验反应装置和样品容器。

封装元器件：军用级电子元件、MEMS器件、锂电池等产品的气密封装完整性测试。

检测方法

真空喷吹法（吸枪法）：系统抽真空后，用氦气喷吹可疑部位，若有漏，氦气被吸入并由检漏仪检测。

真空罩法（累积法）：将被测件置于密闭罩内充氦，抽真空后检测罩内累积的氦气量，用于测量总漏率。

正压吸枪法（嗅探法）：系统内部充入高于大气的氦气混合气，用吸枪在外部扫描，直接定位漏点。

正压累积法（钟罩法）：充氦工件置于密闭收集罩内，经过一定时间累积，检测罩内氦浓度变化计算漏率。

氦质谱检漏仪直接连接法：将被测真空容器直接与检漏仪连接抽真空，可直接测量总漏率，灵敏度最高。

背压法（ bombing ）：将小型密封器件置于高压氦气环境中浸泡，如有漏孔氦渗入，再放入真空箱JianCe测逸出的氦。

检漏盒法：对于大型容器局部区域（如焊缝），使用可密封的柔性或刚性盒子覆盖该区域，充氦或抽真空检测。

标准漏孔校准法：使用已知漏率的标准漏孔对检漏系统进行校准，确保测量结果的准确性和溯源性。

分段隔离检测法：对于复杂系统，通过阀门隔离分段，逐段进行检漏，以快速缩小漏点排查范围。

动态测量与静态测量：动态测量是在持续抽气下进行；静态测量是关闭阀门后测量压力或浓度变化率，各有适用场景。

检测仪器设备

氦质谱检漏仪：核心设备，利用质谱原理选择性检测氦气，具有极高的灵敏度和抗干扰能力。

标准漏孔：提供已知、恒定且微小的氦气泄漏率，用于校准检漏仪的灵敏度和测量准确性。

机械真空泵组：为检漏仪和被检系统提供前置真空，通常包括粗抽泵和罗茨泵等。

检漏专用真空系统：集成阀门、管道、真空计的抽气系统，用于连接被检件和检漏仪。

吸枪（嗅探探头）：用于正压吸枪法，前端有细小吸嘴，通过软管将采集到的气体输送至检漏仪。

喷氦枪与氦气瓶：喷氦枪用于向被检部位精确喷吹氦气；氦气瓶提供高纯度（通常≥99.999%）的示踪气体。

累积罩与真空箱：累积罩为柔性或刚性密封罩；真空箱用于背压法或小型部件的整体测试。

高精度压力传感器与真空计：用于监测和记录被检系统在测试过程中的压力变化。

数据采集与处理系统：计算机和软件，用于控制设备、记录检漏数据、生成测试报告和曲线。

辅助夹具与连接件：包括各种快速接头、法兰转接头、密封堵头等，用于适配不同被检系统的接口。

检测流程

线上咨询或者拨打咨询电话;

获取样品信息和检测项目;

支付检测费用并签署委托书;

开展实验，获取相关数据资料;

出具检测报告。