氦气质谱泄漏率试验

检测项目

总泄漏率测定：测定被测件在特定压力下，单位时间内氦气泄漏的总质量或体积，是评价其整体密封性能的核心指标。

局部泄漏点定位：使用喷枪或吸枪模式，精确找出被测件上具体泄漏位置，为后续修复提供依据。

密封材料渗透率评估：评估橡胶、聚合物等密封材料对氦气的固有渗透特性，为材料选型提供数据支持。

焊缝密封性检测：针对焊接接头，检测其是否存在因气孔、裂纹等缺陷导致的泄漏。

密封圈与垫片性能验证：评估O型圈、金属垫片等静态密封元件在装配后的实际密封效果。

阀门阀座泄漏测试：检测阀门在关闭状态下，阀芯与阀座之间的密封是否达到规定等级。

封装器件气密性测试：对集成电路、MEMS传感器等电子元器件的封装外壳进行高灵敏度密封性检验。

压力容器周期性验证：作为压力容器、管道系统定期安全检验的一部分，验证其长期使用后的密封完整性。

真空系统漏孔检测：检测真空腔体、管道及其连接处是否存在导致真空度下降的漏点。

系统背景信号本底测量：在正式测试前，测量检测系统本身及环境中的氦气本底浓度，确保测试结果的准确性。

检测范围

航空航天部件：包括航天器密封舱、燃料储箱、推进系统管路、生命保障系统等对泄漏率有极端要求的部件。

核工业设备：应用于核反应堆压力容器、核燃料棒包壳、放射性物质处理系统等关键安全屏障的泄漏检测。

汽车制造领域：用于检测汽车空调系统、燃油系统、发动机缸体、安全气囊气体发生器、新能源车电池包等。

电力与能源设备：涵盖燃气轮机壳体、变压器密封、高压开关设备（GIS）、氢气储运设备等。

医疗器械与包装：检测起搏器、人工器官等植入式医疗器械的封装，以及药品无菌包装的完整性。

半导体与电子行业：用于晶圆加工设备真空腔体、半导体封装（如陶瓷、金属封装）、高亮度LED封装等。

制冷与暖通空调：检测压缩机、冷凝器、蒸发器以及整个制冷剂回路（如使用环保冷媒的系统）的密封性。

科研实验装置：应用于高能物理加速器真空管道、同步辐射光束线、材料科学实验舱等精密实验设备。

军工产品：用于水下装备、导弹燃料舱、光学仪器充氮保护腔体等军用设备的密封性验证。

食品与工业包装：检测罐头、饮料瓶、气调保鲜包装以及工业品防潮、防氧化包装的密封质量。

检测方法

真空法（吸枪法）：将被测件内部充注一定压力的氦气，在外部用与质谱仪连接的吸枪进行扫描探测，定位外部泄漏。

充压法（喷枪法或钟罩法）：将被测件内部抽真空并与质谱仪连接，外部用氦气喷枪喷吹或使用氦气罩覆盖，定位泄漏点并测量泄漏率。

累积检测法：将被测件置于一个密闭的累积腔内，内部充氦，经过一段时间累积后，检测累积腔内氦气浓度变化来计算总泄漏率。

背压法（ bombing ）：将被测件置于高压氦气环境中浸泡一定时间，使氦气渗入内部，取出清洁表面后，放入真空腔检测从内部逸出的氦气。

真空箱法：将被测件放入与质谱仪连接的真空箱中抽真空，若被测件内部充有氦气，泄漏的氦气会被质谱仪检测到。

示踪气体探头法：使用手持式或固定式氦气质谱探头，直接对可疑区域进行近距离检测，常用于现场快速排查。

标准漏孔校准法：使用已知精确泄漏率的氦气标准漏孔，对检测系统进行校准，确保测量结果的溯源性与准确性。

静态压力变化法辅助：在进行质谱检测前，先用压力衰减法进行粗检，快速筛选出明显泄漏的工件，提高整体效率。

氦气回收与净化：在测试过程中或测试后，通过回收系统收集氦气并净化再利用，以降低昂贵示踪气体的使用成本。

多工位自动化测试：采用自动化控制系统，实现多个被测件的顺序或并行测试，大幅提升生产线的检测效率与一致性。

检测仪器设备

氦质谱检漏仪：核心设备，利用质谱原理专门检测氦气分压强的仪器，具有极高的灵敏度和选择性。

标准漏孔：提供已知且稳定的氦气泄漏率，用于校准检漏仪的灵敏度和测量精度，是量值传递的基准。

真空系统：包括机械泵、分子泵等，用于为检漏仪和被检工件提供所需的高真空或低真空环境。

检漏工装与夹具：根据被测件形状定制的密封连接装置，用于实现被测件与检漏仪或充氦系统的可靠连接。

氦气喷枪与吸枪：喷枪用于向被测件外表面喷吹氦气；吸枪用于抽取被测件周围气体送入检漏仪。

充氦与回收系统：包含氦气源、压力调节阀、管路及回收泵、净化装置，用于控制充氦过程并回收氦气。

累积腔或真空箱：一个已知体积的密闭腔体，用于进行累积法或真空箱法测试。

压力与真空测量仪表：如电阻规、电容薄膜规等，用于实时监控被测件和检测系统的压力状态。

电气控制系统：PLC或计算机控制系统，用于自动化执行测试流程、控制阀门启闭、采集数据并判断结果。

数据记录与分析软件：与检漏仪配套的软件，用于记录泄漏率随时间的变化曲线、存储测试数据、生成测试报告。

检测流程

线上咨询或者拨打咨询电话;

获取样品信息和检测项目;

支付检测费用并签署委托书;

开展实验，获取相关数据资料;

出具检测报告。