液晶基板玻璃表面缺陷检测-检测标准-检测项目-北检院

检测项目

划痕：指玻璃表面因机械摩擦产生的线状或条状损伤，会影响光透过均匀性与后续膜层质量。

凹坑：指玻璃表面局部区域因冲击或腐蚀形成的微小凹陷，可能导致电路短路或显示异常。

凸起/异物：附着于或突出于玻璃表面的颗粒、纤维或其他杂质，会破坏表面的平整度。

污渍/污染：包括油渍、水印、指纹、化学残留等，可能影响薄膜沉积和贴合工艺。

气泡：玻璃内部或表层因制造工艺问题封装的气体，影响光学性能和结构强度。

裂纹：从表面向内部延伸的破裂，严重破坏玻璃的机械完整性和电气绝缘性。

崩边/缺角：玻璃边缘出现的碎裂或材料缺失，易引发应力集中和进一步破裂。

白点/亮点：局部折射率异常或微小杂质引起的可见光学缺陷，在显示时形成亮点。

黑点/暗点：由吸光性杂质或深层缺陷造成，在背光照射下呈现为暗斑。

波纹/橘皮：表面微观起伏不平整，呈波浪状或橘皮状，影响光学膜的均匀性。

检测范围

整个有效显示区：对应最终面板的显示区域，是缺陷检测最严格的核心区域。

边缘密封区：用于面板封装的边缘区域，需确保无裂纹和污染以保证密封性。

切割道/划线区：大板玻璃上用于分割成单个面板的预定切割线区域。

对位标记区：用于光刻等工艺精密对位的标记图形及其周边区域。

端子引线区：用于连接驱动电路的外围端子区域，要求无污染和损伤。

玻璃基板正面：即进行薄膜晶体管（TFT）或彩色滤光片（CF）制作的主表面。

玻璃基板背面：与正面相对的表面，也需检查以防止搬运或放置造成的污染损伤。

倒角边缘：经过倒角处理的玻璃边缘斜面，检查是否有崩缺或裂纹。

大面积均匀性区域：评估玻璃表面整体平整度与厚度均匀性的广阔区域。

特定功能膜层区：如已镀制的ITO导电膜等特定膜层表面的微观缺陷检查。

检测方法

机器视觉自动光学检测：利用高分辨率CCD/CMOS相机采集图像，通过算法自动识别缺陷的主流方法。

明场照明检测：光线垂直或近垂直入射，主要用于检测表面划痕、凹坑等对光散射明显的缺陷。

暗场照明检测：光线以低角度入射，使平坦表面呈暗背景，突出显示微小的凸起和颗粒缺陷。

偏振光检测：利用偏振光消除表面反射眩光，增强内部应力、细微裂纹等缺陷的对比度。

激光扫描检测：使用激光束扫描表面，通过分析反射光或散射光的变化来探测微小缺陷。

共聚焦显微检测：利用共聚焦原理获取表面三维形貌，精确测量凹坑、凸起的高度和深度。

干涉测量法：利用光波干涉原理，非接触式高精度测量表面平整度、波纹度等微观形貌。

人工目视抽检: 在特定光源（如荧光灯）下，由经过培训的检验员进行辅助性抽样检查与复核。

<强>图像差分处理法: 将待测图像与标准模板图像进行比对，快速定位差异区域以发现缺陷。

<强>多光谱成像检测: 结合不同波段的光源成像，以区分缺陷的物理化学特性，如污染物种类鉴别。

检测仪器设备

<强>AOI自动光学检测机: 集成高速相机、多模式光源和图像处理系统的全自动在线检测设备。

<强>高分辨率线阵/面阵相机: 用于捕捉玻璃表面高清图像的核心传感器，要求高像素和高帧率。

<强>多角度可编程光源系统: 提供明场、暗场、同轴光等多种照明模式，并可编程控制角度与强度。

<强>激光扫描显微镜: 用于对缺陷点进行高倍率的三维形貌观测和尺寸精确测量。

<强>白光干涉仪: 非接触式测量表面纳米级至微米级粗糙度、台阶高度和整体平整度的精密仪器。

<强>偏振成像模块: 集成于AOI设备中，用于产生和分析偏振光图像的特殊光学组件。

<强>传送与定位平台: 高精度、平稳的玻璃承载和传送系统，确保检测位置准确且无二次损伤。

<强>图像处理服务器: 搭载强大GPU和缺陷检测算法软件，负责实时处理海量图像数据并做出判断。

<强>缺陷复检显微镜: 通常为半自动或手动式高倍光学显微镜，用于对AOI检出的缺陷进行人工确认与分类。

<强>洁净环境控制单元: 包括洁净台、空气净化系统等，为检测过程提供无尘环境，防止二次污染。
检测流程
线上咨询或者拨打咨询电话;
获取样品信息和检测项目;
支付检测费用并签署委托书;
开展实验，获取相关数据资料;
出具检测报告。

液晶基板玻璃表面缺陷检测

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