石英坩埚检测

北检院检测中心  |  完成测试:  |  2025-05-06  

石英坩埚作为高温环境下关键材料载体,其性能直接影响半导体、光伏等领域的工艺稳定性与安全性。专业检测需涵盖化学成分、热学性能及物理结构三大核心维度,重点通过纯度分析、热膨胀系数测定及缺陷筛查等指标评估其耐受性。本文依据ASTME438、GB/T3284等行业标准体系,系统阐述石英坩埚质量控制的科学路径。

注意:因业务调整,暂不接受个人委托测试望见谅。

检测项目

化学成分分析

二氧化硅(SiO₂)纯度测定(≥99.95%)

金属杂质元素总量(Fe、Al、Ca等≤50ppm)

羟基(-OH)含量测试(≤30ppm)

热学性能测试

膨胀系数(CTE)测定(0-1000℃范围)

软化点测试(≥1700℃)

抗热震性循环试验(1000℃↔室温≥20次)

物理性能评估

密度测量(2.20±0.02g/cm³)

表面粗糙度Ra值(≤0.8μm)

壁厚均匀性偏差(≤±1.5%)

结构完整性检验

内壁气泡密度(≤3个/cm²)

微裂纹长度阈值(≤50μm)

晶相转变度测定(方石英含量≤5%)

检测范围

产品类型规格参数应用场景
透明石英坩埚
容量0.5-200L

精密光学镀膜
不透明石英坩埚
耐温等级1650-1750℃

贵金属熔炼
高纯合成石英坩埚
羟基含量≤5ppm

光掩模基板加工
定制化涂层坩埚
莫氏硬度≥8.5

特种合金冶炼

检测方法

X射线荧光光谱法(XRF)

采用波长色散型XRF仪对样品进行全元素扫描,配合FP法无标样定量分析SiO₂主量成分及微量杂质元素分布。

高温热膨胀仪法

依据ISO 14420标准程序,以5℃/min升温速率测定25-1200℃区间线性膨胀率曲线,计算平均CTE值。

红外光谱分析法

使用傅里叶变换红外光谱仪(FTIR)在2.7μm波段测定羟基特征吸收峰强度,建立标准曲线换算-OH含量。

激光共聚焦显微镜法

通过三维形貌重构技术测量表面粗糙度参数Ra/Rz值,扫描精度达0.01μm级。

超声波探伤法

采用15MHz高频探头进行C扫描成像检测内部缺陷,最小可识别缺陷尺寸为Φ0.3mm当量平底孔。

检测流程

线上咨询或者拨打咨询电话;

获取样品信息和检测项目;

支付检测费用并签署委托书;

开展实验,获取相关数据资料;

出具检测报告。

北检(北京)检测技术研究院
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