探索精密光学检测

北检院检测中心  |  完成测试:  |  2025-05-12  

精密光学检测是保障光学元件与系统性能的核心环节。本文系统阐述表面形貌、光学参数及材料特性三大类共12项关键指标的科学定义与测量要求,涵盖从微米级透镜到大型天文望远镜的完整应用场景。重点解析干涉法、散射法、光谱分析法等7种主流技术原理及误差控制要素。

注意:因业务调整,暂不接受个人委托测试望见谅。

检测项目

精密光学检测体系包含三大类核心指标:表面特性类涵盖表面粗糙度(Ra≤1nm)、面形精度(PV值≤λ/20)、划痕/麻点等级(MIL-PRF-13830B标准);光学性能类包括透射率(200-2500nm波段)、反射率(5°-85°入射角)、折射率均匀性(Δn≤5×10⁻⁶);材料特性类涉及应力双折射(≤5nm/cm)、热膨胀系数(CTE±0.05×10⁻⁶/K)、抗激光损伤阈值(J/cm²@1064nm)。

检测范围

覆盖直径0.5mm微型球面透镜至8米级天文望远镜主镜的几何量检测;支持紫外(193nm)至远红外(14μm)全光谱波段的光学参数测量;适用于熔融石英、氟化钙等18种光学基材及多层介质膜、金属膜等5类镀膜工艺的物理特性分析;包含航天级载荷镜头、光刻机投影物镜等极端环境下的性能验证。

检测方法

相位测量干涉法实现λ/100精度的非接触面形测量;原子力显微术完成亚纳米级表面粗糙度表征;激光量热法测定10⁻⁴量级的光吸收损耗;穆勒矩阵椭偏仪解析纳米膜层结构参数;同步辐射X射线反射法测量超光滑表面功率谱密度;激光诱导击穿光谱技术实现ppm级杂质元素分析;低温绝对辐射计完成0.01%不确定度的光功率标定。

检测仪器

Zygo Verifire MST激光干涉仪配置2560×2160像素数字传感器;Bruker ContourGT-X3白光干涉仪具备0.01nm垂直分辨率;Shimadzu AIM-9000红外显微镜集成焦平面阵列探测器;4D Technology动态干涉仪实现振动环境下的稳定测量;Präzisionsoptik Gera球面波绝对检验系统消除参考镜误差;HORIBA UVISEL 2相位调制椭偏仪支持190-2100nm宽光谱分析;NIST溯源级积分球辐射源确保光度测量溯源性。

检测流程

线上咨询或者拨打咨询电话;

获取样品信息和检测项目;

支付检测费用并签署委托书;

开展实验,获取相关数据资料;

出具检测报告。

北检(北京)检测技术研究院
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