氯化铟检测

北检院检测中心  |  完成测试:  |  2025-05-14  

氯化铟检测是保障高纯材料性能的关键环节,涉及成分分析、杂质控制及物性测试等核心内容。本文系统阐述氯化铟的标准化检测流程,重点解析电感耦合等离子体光谱法(ICP-OES)、X射线衍射(XRD)等技术的应用要点,为电子材料、半导体行业提供质量控制依据。

注意:因业务调整,暂不接受个人委托测试望见谅。

检测项目

氯化铟检测体系包含三大类共12项关键指标:

主成分分析:三氯化铟(InCl3)纯度测定

杂质元素检测:钠(Na)、钾(K)、铁(Fe)、铜(Cu)等18种金属杂质含量

非金属杂质检测:氯离子(Cl-)含量、游离酸度

物理特性测试:晶体结构分析、粒径分布、堆积密度

溶液特性检测:pH值、电导率、溶解性

检测范围

应用领域检测重点执行标准
半导体材料制备痕量金属杂质控制(≤1ppm)ASTM F3064-19
光伏薄膜沉积晶体结构一致性验证IEC 61215-2:2021
电子元件封装氯离子残留量测定JIS K8150:2018
催化剂生产比表面积与活性位点分析ISO 9277:2022
医药中间体合成有机溶剂残留检测USP<467>

检测方法

电感耦合等离子体光谱法(ICP-OES)

采用径向观测模式测定0.01-100ppm浓度范围的金属杂质元素。优化参数包括:射频功率1150W、雾化气流速0.65L/min、积分时间5s。

离子色谱法(IC)

使用AS11-HC色谱柱分离氯离子,电导检测器定量限达0.05μg/mL。流动相为30mM KOH梯度洗脱。

X射线衍射分析(XRD)

采用θ-2θ扫描模式(5°-80°),Cu Kα辐射(λ=1.5406Å),步长0.02°,用于鉴别α-InCl3/β-InCl3晶型比例。

热重-差示扫描量热法(TG-DSC)

在氮气氛围下以10℃/min升温至600℃,测定脱水温度、相变焓值等热力学参数。

激光粒度分析(LPSA)

采用Mie散射理论计算粒径分布,测量范围0.1-1000μm,分散介质选用无水乙醇。

检测仪器

全谱直读光谱仪(ICP-OES)

配备中阶梯光栅分光系统,光学分辨率≤0.006nm@200nm,具备同步背景校正功能。

多晶X射线衍射仪(PXRD)

配置高速一维探测器,最大采样速率20000cps,角度重复性±0.0001°。

同步热分析仪(STA)

TG分辨率0.1μg,DSC灵敏度<1μW,支持三路气体自动切换。

纳米粒度及Zeta电位仪

采用动态光散射技术(DLS),测量角度173°,温度控制精度±0.1℃。

微波消解系统

40位高通量消解罐,最高温度300℃,压力监控精度±0.1MPa。

超纯水制备系统

产水电阻率≥18.2MΩ·cm@25℃,总有机碳含量≤5ppb。

检测流程

线上咨询或者拨打咨询电话;

获取样品信息和检测项目;

支付检测费用并签署委托书;

开展实验,获取相关数据资料;

出具检测报告。

北检(北京)检测技术研究院
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