溅射靶材检测

检测项目

溅射靶材质量评价体系包含基础物性参数与功能特性两大类别：

化学成分分析：主元素含量测定（≥99.95%）、痕量杂质元素（≤50ppm）

微观结构表征：晶粒尺寸分布（≤50μm）、取向一致性（EBSD分析）、相组成鉴定

物理性能测试：体积密度（≥98%理论值）、孔隙率（≤0.5%）、热膨胀系数（CTE）

表面质量评估：粗糙度Ra（≤0.8μm）、氧化层厚度（≤5nm）、微裂纹检测

机械性能验证：维氏硬度（HV0.3）、断裂韧性（KIC值）、残余应力分布

检测范围

本检测体系适用于各类溅射靶材的质量控制：

检测方法

依据ISO 14706:2014及ASTM F3091标准实施规范操作：

成分分析：X射线荧光光谱法（XRF）测定主量元素；电感耦合等离子体质谱法（ICP-MS）分析痕量杂质；辉光放电质谱法（GDMS）用于深度剖析

微观结构：电子背散射衍射（EBSD）测定晶粒取向；扫描电镜（SEM）观测表面形貌；透射电镜（TEM）解析界面结构；X射线衍射（XRD）进行物相鉴定

物理性能：阿基米德法测定体积密度；激光闪射法测量热扩散系数；三点弯曲试验评估断裂强度；白光干涉仪量化表面粗糙度

检测仪器

标准实验室应配置以下核心设备：

元素分析系统：XRF-1800波长色散光谱仪（检出限0.001%）、NexION 350D ICP-MS（ppt级灵敏度）

所有仪器均需定期通过NIST标准物质进行校准验证，测量不确定度应控制在标准值的±1.5%范围内。实验室环境须满足温度(23±0.5)℃、湿度(45±5)%RH的恒温恒湿条件。

检测流程

线上咨询或者拨打咨询电话;

获取样品信息和检测项目;

支付检测费用并签署委托书;

开展实验，获取相关数据资料;

出具检测报告。