氦检漏技术及应用检测

检测项目

氦检漏技术主要针对以下三类关键检测对象：

1.真空系统完整性验证：包括半导体制造设备、粒子加速器、航天器推进系统等超高真空环境的密封性能测试，要求泄漏率≤110^-9Pam³/s

2.压力容器密闭性评估：涵盖LNG储罐、核反应堆冷却回路、化工管道等承压设备的微小泄漏检测，依据ASMEBPVCSectionV标准执行

3.密封组件失效分析：针对O型圈、焊接接头、阀门阀座等关键连接部位的泄漏定位与泄漏量测定

检测范围

该技术适用于以下工业领域：

•航空航天：卫星燃料贮箱、载人舱体气密性验证（符合ECSS-Q-ST-70-04C标准）

•能源装备：核电站主泵机械密封、燃料电池双极板泄漏测试（参照ISO20485:2018）

•医疗设备：MRI超导磁体杜瓦、血液透析仪液路系统密封性检查

•汽车制造：新能源车电池包壳体、氢燃料电池堆泄漏率控制（满足SAEJ2719要求）

检测方法

主要实施方法包括三种标准化流程：

真空喷氦法（VacuumSprayMethod）

1.将被测件接入真空室并抽至≤510^-3Pa基础压力
2.使用氦质谱检漏仪建立基准本底值
3.沿疑似泄漏路径以10mm/s速度喷射5%氦氮混合气
4.记录超过本底值10倍的信号响应作为有效泄漏判定

吸枪法（SnifferProbeMethod）

1.向密闭被测件内部充注0.5-1MPa氦气混合介质
2.采用锥形探枪以5cm/s速度扫描外表面
3.通过分子泵组维持10^-4mbarl/s探测灵敏度
4.依据ASTME493标准进行泄漏率换算

累积法（AccumulationMethod）

1.将被测件置于密闭收集腔体
2.充入50%浓度氦气保持12-24小时
3.使用四级杆质谱仪分析腔体内氦分压变化
4.按公式Q=V(P₂-P₁)/Δt计算总泄漏量

检测仪器

核心设备配置需满足以下技术要求：

氦质谱检漏仪（HeliumMassSpectrometerLeakDetector）
•分辨率：≥0.5amu（区分He+与H₂O+峰）
•检出限：≤510^-13Pam³/s
•响应时间：T_90%<1s（满足动态扫描需求）
•标配分子泵组实现10^-7Pa工作真空度

自动化测试系统（AutomatedTestStation）
•集成PLC控制模块实现多通道切换
•RS485接口支持SCADA数据采集
•配备ISO-KF标准法兰接口组件
•内置温度补偿算法（-20℃~50℃环境适用）

校准装置（CalibrationSystem）
•标准漏孔量程覆盖110^-5~110^-12Pam³/s
•NIST可溯源证书确保量值传递准确
•恒温油槽控制精度0.1℃
•双级机械泵组维持稳定校准环境

辅助设备（AuxiliaryEquipment）
•氦气回收装置实现≥95%气体循环利用
•三维机械扫描平台定位精度0.1mm
•红外热像仪辅助识别潜在泄漏区域
•专用除湿器控制测试环境露点≤-40℃

检测流程

线上咨询或者拨打咨询电话;

获取样品信息和检测项目;

支付检测费用并签署委托书;

开展实验，获取相关数据资料;

出具检测报告。