氦检技术在泄漏检测

检测项目

氦检技术主要针对以下三类核心检测需求：

• 密封容器完整性验证：包括压力容器、储罐及管道系统的整体泄漏率测定，依据ASMEBPVCSectionV或ISO20485标准执行全系统气密性评估
• 真空系统泄漏诊断：适用于半导体制造设备、加速器真空室等超高真空环境的微漏点定位，要求达到≤510⁻⁰mbarL/s的检测灵敏度
• 微通道器件渗透测试：针对燃料电池双极板、微型热交换器等精密部件的局部渗漏分析，需配合扫描探漏装置实现0.1μm级缺陷识别

检测范围

该技术覆盖以下工业领域的泄漏控制需求：

• 能源装备：核反应堆冷却系统密封性验证需满足10⁻⁷Pam/s的严苛标准
• 汽车制造：新能源车电池包壳体要求整体泄漏率≤310⁻⁶mbarL/s（ISO16750-4）
• 航空航天：航天器推进剂贮箱需通过110⁻⁹stdccHe/s的验收阈值（NASA-STD-5017）
• 医疗设备：人工心肺机氧合器的血液渗漏检测需达到0.1mL/min分辨率
• 电子封装：芯片级封装要求氦气泄漏率≤510⁻⁸atmcc/s（MIL-STD-883）

检测方法

标准操作流程包含以下三种基础模式：

• 真空喷氦法（VacuumHoodMethod）：
  1. 将被测件抽至≤510⁻mbar基础真空度
  2. 使用0.5-1.0bar氦气喷射可疑区域表面
  3. 通过质谱仪实时监测系统内氦分压变化率
• 吸枪扫描法（SnifferProbeMethod）：
  1. 向密闭腔体充注含5%He的混合气体至1.5倍工作压力
  2. 采用移动式吸枪以10mm/s速度扫描被测表面
  3. 当检出浓度超过背景值100ppm时判定为泄漏点
• 累积测试法（AccumulationMethod）：
  1. 将被测件置于密闭收集室内并抽真空至10⁻mbar
  2. 充入纯氦至标准大气压并保压30分钟
  3. 测量收集室内的氦浓度增量计算总泄漏率

检测仪器

核心设备配置需满足以下技术要求：

• 氦质谱检漏仪（HeliumMassSpectrometerLeakDetector）：
  • 质量数4分辨率≥100（10%峰谷定义）
  • 最小可检漏率≤510⁻Pam/s（NIST可溯源校准）
  • 响应时间T₁₀-₉₀≤0.3s（标准测试条件）
• 多通道喷氦系统（Multi-nozzleHeliumSprayUnit）：
  • 配备8-12组独立控温喷嘴（20-80℃可调）
  • 流量控制精度1.5%FS（0-10L/min量程）
  • 集成式废气回收装置满足OSHA29CFR1910.134要求
• 三维扫描定位平台（3DLeakMappingSystem）：
  • 重复定位精度0.02mm（ISO9283标准）
  • 最大扫描速度500mm/s（带动态补偿功能）
  • 支持CAD模型导入实现自动路径规划
• 环境补偿模块（AmbientCompensationModule）：
  • 实时监测大气氦本底浓度（典型值5.24ppm）
  • 自动修正温度波动引起的测量偏差（ΔT≤0.1℃）
  • 内置H₂O/O₂过滤装置延长灯丝寿命至≥8000小时

检测流程

线上咨询或者拨打咨询电话;

获取样品信息和检测项目;

支付检测费用并签署委托书;

开展实验，获取相关数据资料;

出具检测报告。