氦质谱真空检漏检测

检测项目

氦质谱真空检漏主要针对以下关键场景：

• 真空系统密封性验证：评估高/超高真空设备（如粒子加速器、镀膜设备）的静态泄漏率
• 微小漏孔定位：识别半导体晶圆反应腔、航天器推进剂贮箱等精密部件的泄漏源
• 密封件性能测试：测定O型圈、金属密封法兰等承压部件的泄漏阈值
• 工艺过程监控：跟踪焊接接头、钎焊管路在热循环后的泄漏变化趋势
• 长周期泄漏监测：核电站主泵机械密封、LNG储罐等关键设施的年泄漏率审计

检测范围

该技术适用于以下典型场景：

• 工业领域：石化管道焊缝（DN50-DN1200）、压缩机缸体（0.1-30MPa）、制冷系统蒸发器
• 科研装置：同步辐射光源真空环（10⁻⁷Pa级）、托卡马克装置第一壁面板
• 电子制造：MEMS封装腔体（漏率≤510⁻⁰mbarL/s）、锂电铝塑膜封装完整性
• 医疗器械：血液透析器中空纤维膜组件、医用加速器波导系统
• 特殊环境设备：深海探测器耐压舱（6000m级）、卫星推进模块（空间环境模拟）

检测方法

标准化的检漏流程包括以下方法体系：

• 真空法（VacuumnMode）：将被测件接入检漏仪真空系统，通过外部喷吹氦气实现漏率测量（灵敏度达110⁻Pam/s）
• 喷吹法（SnifferMode）：在充压件表面移动吸枪探头定位泄漏点（适用0.1-2MPa正压系统）
• 累积法（AccumulationMode）：密闭腔体内充注氦气后监测浓度变化率（适合大容积容器整体泄漏评估）
• 背压法（BombingMode）：高压氦气浸泡被测件后转入真空环境测量逸出量（专用于微通道器件）
• 差分测量法：双通道质谱仪同步监测本底与样品信号（消除环境干扰）

检测仪器

典型氦质谱检漏系统包含以下核心模块：

• 质谱分析单元
  • 磁偏转式质谱管：分辨率≥60（M/ΔM），质量数范围1-8amu
  • 法拉第杯/电子倍增器双模式探测器（动态范围10⁻⁴-10⁻A）
• 真空获得系统
  • 分子泵组：极限真空≤510⁻⁷Pa，抽速400-2000L/s可选配
  • 机械泵：无油干泵（基础压力≤1Pa）或旋片泵（带油气分离装置）
• 嵌入式PLC系统：集成压力PID控制、漏率自动换算功能
• TFT触摸屏：实时显示质量峰图、历史趋势曲线及报警记录

检测流程

线上咨询或者拨打咨询电话;

获取样品信息和检测项目;

支付检测费用并签署委托书;

开展实验，获取相关数据资料;

出具检测报告。