氦氮试验检漏检测

检测项目

静态累积漏率测试：在恒压条件下测量单位时间内气体泄漏总量，检测灵敏度1×10⁻¹² Pa·m³/s

动态流量法检测：实时监测氦气流动速率，流量范围0.01-100 sccm，精度±0.5%

最小可检漏率校准：建立标准漏孔基准，校准区间1×10⁻⁹~1×10⁻¹³ mbar·L/s

背压法密封测试：模拟深水压力环境，测试压力0-50MPa，保压时间≥2h

真空喷氦定位检测：局部氦气喷射定位泄漏点，空间分辨率≤1mm

氦质谱峰扫描分析：识别氦同位素质谱峰(He⁴ m/z=4)，信噪比≥100:1

温度循环泄漏测试：-65℃~+150℃温变条件下验证密封稳定性，温变速率10℃/min

多压力梯度试验：分级加压0.1~10MPa，记录各压力点泄漏率曲线

真空室本底检测：监控真空系统本底氦浓度，背景值≤5×10⁻⁸ mbar·L/s

密封材料渗透率测定：测量材料本体氦气渗透系数，分辨率1×10⁻¹⁴ cm³·mm/(cm²·s·cmHg)

氦氮混合比测试：控制氦氮混合比例(0.1%~10%)，混合均匀度偏差≤±0.2%

重复性验证试验：同件样品连续5次检测，RSD≤3%

检测范围

航空航天密封件：火箭燃料贮箱密封圈、航天器舱门密封系统

核工业设备：核燃料棒包壳管、反应堆压力容器密封焊缝

医用植入器械：心脏起搏器外壳、人工关节真空封装

半导体制造装备：光刻机真空腔室、晶圆传输系统密封阀

高真空器件：离子泵壳体、分子泵轴承密封组件

新能源电池系统：燃料电池双极板、锂电铝塑封装膜

深潜装备：潜水器耐压舱体、海底电缆接头

超导设备：MRI磁体杜瓦容器、超导线圈真空绝缘

精密仪器：原子钟真空腔、重力仪密封模块

汽车关键部件：氢能源车储氢罐、新能源电池冷却系统

电力设备：GIS封闭组合电器、变压器套管密封

食品医药包装：输液袋热封口、真空冻干药品包装

检测标准

ISO 20486:2017 真空技术-标准漏孔的校准

ASTM E499-95(2021) 示踪气体检漏方法标准

GB/T 32218-2015 真空技术 氦质谱检漏仪检测方法

MIL-STD-750-4 半导体器件试验方法-密封性测试

EJ/T 1106-2016 核级阀门氦气检漏试验规程

ISO 15848-1:2015 工业阀门 微泄漏测量标准

GB/T 15171-1994 软包装件密封性能试验方法

AMS 2648F 航空材料氦气泄漏检测规范

ASME BPVC-VIII 压力容器建造规则附录8

IEC 60068-2-17 环境试验-密封性试验方法

GB/T 34533-2017 空间科学实验装置检漏方法

JIS Z 2331:2019 氦质谱仪泄漏检测方法

检测仪器

四极杆质谱检漏仪：核心检测设备，质量分辨率0.5amu，可识别m/z=4氦离子峰

标准漏孔校准装置：提供基准漏率源，漏率范围1×10⁻⁴~1×10⁻¹³ Pa·m³/s

真空多通道采集系统：同步监控32个测试工位，采样频率100Hz

氦气回收纯化装置：氦气回收率≥98%，纯度恢复至99.999%

自动氦喷枪定位机构：三维移动精度±0.1mm，用于泄漏点精确定位

压力循环试验舱：压力范围0.1Pa~10MPa，温控精度±0.5℃

累积检测收集罩：容积0.1~1000L可调，配备低本底不锈钢内壁

残余气体分析仪：监测本底气体成分，质量范围1~300amu

分子泵真空机组：极限真空5×10⁻⁷ Pa，抽速2000L/s

数字压差传感器：量程0~500kPa，分辨率1Pa

检测流程

线上咨询或者拨打咨询电话;

获取样品信息和检测项目;

支付检测费用并签署委托书;

开展实验，获取相关数据资料;

出具检测报告。