白光衍射检测

检测项目

表面粗糙度测量：评估表面微观不平度；检测参数包括分辨率0.1μm，测量范围0.01-100μm，Ra值精度±5%

台阶高度分析：测量台阶或凹槽的垂直尺寸；检测参数包括高度范围0.1-100μm，重复性误差≤0.05μm

薄膜厚度测定：计算涂层或薄膜层的厚度；检测参数包括厚度范围0.01-50μm，精度±0.02μm

平面度检测：评估表面整体平整度；检测参数包括平面度误差±0.5μm/m，测量面积10mm×10mm至500mm×500mm

缺陷识别：定位表面划痕、凹坑等异常；检测参数包括最小缺陷尺寸0.5μm，检测速度5点/秒

曲率半径测量：分析曲面物体的弧度；检测参数包括半径范围1mm-1000mm，误差≤0.1%

振动分析：监测微小振动位移；检测参数包括位移分辨率0.01μm，频率范围0-1000Hz

光学元件性能测试：验证透镜或反射镜的光学特性；检测参数包括波前畸变测量精度λ/50，透射率误差±0.5%

微结构尺寸量化：测量微孔或微槽的几何维度；检测参数包括孔径范围1-500μm，深度精度±0.1μm

应力分布映射：分析材料表面的应力状态；检测参数包括应力分辨率0.1MPa，覆盖区域100mm²

检测范围

半导体晶圆：用于检测晶圆表面的平整度、缺陷及膜层厚度

光学镜片：评估镜面曲率、光泽度及表面均匀性

精密机械零件：分析齿轮、轴承等部件的微观形貌和磨损

医疗器械组件：测量手术器械或植入物表面的清洁度和精度

汽车引擎部件：验证活塞环或缸体内壁的粗糙度和平面度

航空航天材料：检测复合材料面板的应力分布和表面完整性

电子封装元件：评估芯片封装基板的台阶高度和缺陷

金属涂层工件：分析电镀或喷涂表面的厚度和平整度

聚合物薄膜：测量包装材料或显示屏薄膜的均匀性和厚度

陶瓷基板：检验陶瓷绝缘体的表面纹理和微观结构

检测标准

ASTME2245-11：衍射光栅效率测量的标准测试方法

ISO25178：几何产品规范（GPS）—表面纹理：区域参数

GB/T11343-2008：金属表面粗糙度参数及其测量方法

ISO4287：几何产品规范（GPS）—表面纹理：轮廓法参数

GB/T29552-2013：薄膜厚度测量方法

ASTMB748：测量金属涂层厚度的标准测试方法

ISO10110：光学和光子学—光学元件和系统的制图要求

GB/T1800：产品几何技术规范（GPS）—公差原则

检测仪器

白光干涉仪：一种光学干涉设备，用于高精度表面形貌重构；在本检测中，实现三维表面轮廓测量和粗糙度分析

激光扫描显微镜：基于激光扫描的光学仪器，用于微观结构成像；在本检测中，执行台阶高度和缺陷尺寸的精确量化

CCD相机系统：配备电荷耦合器件的图像采集设备，用于实时表面监测；在本检测中，捕捉振动位移和应力分布数据

光谱分析仪：测量光波波长和强度的仪器，用于光学性能测试；在本检测中，评估透射率和反射率参数

微位移传感器：高灵敏度位移测量设备，用于微小变化检测；在本检测中，监控薄膜厚度和平面度误差

检测流程

线上咨询或者拨打咨询电话;

获取样品信息和检测项目;

支付检测费用并签署委托书;

开展实验，获取相关数据资料;

出具检测报告。