热载流子效应评估检测

北检院检测中心  |  完成测试:  |  2025-08-14  

热载流子效应评估检测针对半导体器件在高电场下的性能退化分析,聚焦可靠性评估和失效机制量化。核心要点包括阈值电压漂移测量、界面态密度检测、载流子注入效率分析和加速寿命测试,确保器件长期稳定性评估。

注意:因业务调整,暂不接受个人委托测试望见谅。

检测项目

阈值电压漂移:评估MOSFET阈值电压变化,具体检测参数包括漂移量和应力时间。

跨导退化:测量晶体管跨导减少,具体检测参数包括退化百分比和应力条件。

漏电流增加:监测漏极电流增长,具体检测参数包括电流值和应力电压。

界面态密度:量化氧化物-半导体界面缺陷,具体检测参数包括密度值和测量频率。

载流子注入效率:分析热载流子注入效率,具体检测参数包括注入电流和能量分布。

寿命预测:基于加速测试预测失效时间,具体检测参数包括激活能和失效分布。

电荷泵测量:检测界面陷阱密度,具体检测参数包括泵电流和频率响应。

噪声特性:评估热噪声变化,具体检测参数包括噪声功率谱密度。

热载流子注入电流:直接测量注入电流,具体检测参数包括幅度和持续时间。

栅氧化层完整性:检查氧化层退化,具体检测参数包括击穿电压和缺陷密度。

衬底电流:测量衬底电流变化,具体检测参数包括电流值和温度依赖性。

热电子发射:分析热电子发射特性,具体检测参数包括发射电流和能量水平。

检测范围

MOSFET器件:金属氧化物半导体场效应晶体管。

CMOS集成电路:互补金属氧化物半导体逻辑电路。

功率晶体管:高电压应用中的功率半导体器件。

内存芯片:动态随机存取存储器和闪存。

射频器件:用于高频通信的晶体管。

传感器元件:基于半导体的传感设备。

微处理器:中央处理单元集成电路。

模拟集成电路:运算放大器和数据转换器。

功率管理IC:电压调节器和电源管理芯片。

光电器件:光电二极管和激光二极管。

纳米尺度器件:先进技术节点半导体器件。

宽禁带半导体器件:碳化硅和氮化镓器件。

检测标准

依据JESD78进行闩锁测试。

依据JESD22-AJianCe进行静电放电测试。

依据IEC60749进行机械和气候测试。

依据ISO16750进行环境条件评估。

依据ASTMF1241进行可靠性测试

依据GB/T4937进行气候试验。

依据MIL-STD-883进行微电子测试。

依据JESD28进行非易失性内存测试。

依据JESD47进行应力测试。

依据GB/T17574进行集成电路规范。

检测仪器

参数分析仪:用于电流-电压特性测量,具体功能包括阈值电压和漏电流评估。

半导体测试系统:自动化测试平台,具体功能包括加速应力施加和参数监控。

高精度源测量单元:提供精确电压电流源,具体功能包括热载流子注入电流测量。

电荷泵测量系统:专用于界面态检测,具体功能包括电荷泵电流频率扫描。

噪声分析仪:测量器件噪声特性,具体功能包括热噪声频谱分析。

温度控制室:调节测试环境温度,具体功能包括温度相关退化研究。

检测流程

线上咨询或者拨打咨询电话;

获取样品信息和检测项目;

支付检测费用并签署委托书;

开展实验,获取相关数据资料;

出具检测报告。

北检(北京)检测技术研究院
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