束斑椭圆度测量检测

北检院检测中心  |  完成测试:  |  2025-08-16  

束斑椭圆度测量检测聚焦光束或粒子束的椭圆形状偏差评估。核心要点包括主轴与次轴长度测量、椭圆度误差计算、束斑面积分析、峰值强度定位及稳定性测试。检测过程确保高精度参数采集如尺寸误差、发散角分析和能量分布均匀性验证。

注意:因业务调整,暂不接受个人委托测试望见谅。

检测项目

主轴长度测量:评估束斑在主轴方向的实际尺寸。具体检测参数包括测量范围0.05μm至15mm,精度0.2%。

次轴长度测量:评估束斑在次轴方向的实际尺寸。具体检测参数包括测量范围0.05μm至15mm,精度0.2%。

椭圆度误差计算:量化束斑形状偏离圆形的程度。具体检测参数包括误差值范围0%至60%,分辨率0.05%。

束斑面积测量:测定束斑的有效覆盖面积。具体检测参数包括面积范围0.1μm至200mm,精度0.8%。

峰值强度位置:识别束斑中心点的最大能量位置。具体检测参数包括位置偏移量测量精度0.005mm。

束斑不对称性分析:评估束斑形状的非对称分布特征。具体检测参数包括不对称系数范围0.0至1.5,分辨率0.01。

光束发散角测量:分析束斑的发散特性与角度范围。具体检测参数包括角度测量范围0.05至12,精度0.005。

聚焦质量评估:检测束斑在焦点处的集中效果。具体检测参数包括聚焦点尺寸偏差0.02μm。

束斑稳定性测试:评估束斑形状的动态变化与时间依赖性。具体检测参数包括时间稳定性分析频率0.05Hz至2kHz。

能量分布均匀性:测量束斑内能量密度的均匀程度。具体检测参数包括均匀性系数误差0.3%。

束斑轮廓分析:重建束斑的二维形状轮廓。具体检测参数包括轮廓重建精度0.1μm。

M因子测定:计算光束质量因子以评估衍射极限。具体检测参数包括因子范围1.0至10.0,精度0.1。

检测范围

激光加工设备:工业激光切割与焊接系统中的束斑控制。

电子显微镜系统:材料分析与生物学成像的电子束形状评估。

光纤通信组件:光信号传输中的光束形态监测。

激光雷达装置:自动驾驶与遥感探测的激光束特性分析。

医疗激光器械:手术与治疗设备的束斑精度验证。

光学成像仪器:显微镜与望远镜的光束聚焦检测。

粒子加速器:高能物理实验的粒子束椭圆度控制。

半导体制造设备:光刻与蚀刻工艺的光束形状管理。

航空航天传感器:导航系统中光束或粒子束的稳定性监测。

太阳能聚光系统:光能收集装置的光束均匀性评估。

量子计算器件:量子比特操控中的束斑形状优化。

显示技术组件:投影与显示设备的光束轮廓校准。

检测标准

ISO1JianCe6-1:2005激光束宽度、发散角及光束传输比测量规范。

ASTME2307-15电子束束斑尺寸与形状测试标准。

GB/T31369-2015激光束参数测量方法通则。

ISO13694:2018光学激光束功率密度分布评估规范。

GB/T15368-2008激光束特性测试基本要求。

ISO1JianCe5:2018光学与光子学激光束参数术语与符号定义。

检测仪器

束斑分析仪:实时捕获束斑图像并计算椭圆参数。具体功能包括高分辨率成像与尺寸误差分析。

激光功率分布计:测量束斑能量密度分布。具体功能包括积分强度均匀性验证。

位置敏感探测器:监测束斑中心偏移与动态变化。具体功能包括微米级位置精度测量。

光束质量分析系统:评估发散角与M因子。具体功能包括多维度束斑参数采集。

CCD成像相机:获取束斑二维形状轮廓。具体功能包括高帧率图像处理与分析。

干涉仪系统:测定束斑相位与波前误差。具体功能包括干涉条纹分析以计算椭圆度。

检测流程

线上咨询或者拨打咨询电话;

获取样品信息和检测项目;

支付检测费用并签署委托书;

开展实验,获取相关数据资料;

出具检测报告。

北检(北京)检测技术研究院
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