真空泄漏率测试检测

北检院检测中心  |  完成测试:  |  2025-08-27  

真空泄漏率测试检测通过多种技术手段评估密封系统的密闭性能,涉及压力变化监测、示踪气体分析等核心方法,检测参数涵盖泄漏速率、真空度保持能力等关键指标,为航空航天、半导体等领域提供量化评估依据。

注意:因业务调整,暂不接受个人委托测试望见谅。

检测项目

氦质谱检漏:基于氦气作为示踪气体的高精度检漏技术,泄漏速率检测下限达1×10^-12mbar·L/s,适用于微小泄漏点定位。

压力衰减测试:通过监测封闭系统压力随时间变化计算泄漏量,压力测量精度±0.1mbar,适用于刚性容器泄漏评估。

真空度保持能力:在规定时间内记录真空度衰减值,真空度测量范围1×10^-6~1×10^2mbar,评估系统长期密封稳定性。

卤素检漏:利用卤素气体吸附特性检测泄漏,响应时间≤3秒,适用于高压管道系统泄漏定位。

气泡检漏法:通过浸入液体观察气泡产生速率,灵敏度达到1×10^-3mbar·L/s,适用于可见密封面泄漏检测。

超声波检漏:检测泄漏产生的高频声波信号,频率响应范围20kHz~1MHz,适用于非接触式快速定位。

热真空环境模拟测试:在10^-5Pa级真空环境中监测密封组件泄漏率,温度控制范围-196℃~300℃,评估极端工况密封性能。

质量流量泄漏检测:通过质量守恒原理计算泄漏量,质量流量测量精度±0.1sccm,适用于大容积系统泄漏标定。

压力容积法检漏:结合压力传感器与体积变化计算泄漏率,容积测量精度±0.01cm³,适用于刚性容器批量检测。

放射性示踪检漏:利用同位素标记气体追踪泄漏路径,最小可检泄漏率1×10^-15mbar·L/s,适用于超精密密封件检测。

检测范围

航天器推进系统:火箭发动机燃料管路、姿态控制喷口等关键密封组件。

半导体制造设备:真空腔室、晶圆传输系统及精密阀门密封性能。

核反应堆冷却系统:主回路管道、压力边界密封件及应急冷却装置。

医用高压氧舱:舱体焊接接缝、观察窗密封及压力调节系统。

液化天然气储罐:真空绝热层夹层、管道法兰连接及紧急切断阀。

航空发动机涡轮:压气机密封环、燃烧室火焰筒及涡轮叶片密封结构。

高能粒子加速器:真空管道焊缝、束流管道连接及低温系统密封。

食品无菌包装:充氮包装密封性、易撕盖封口及复合膜热封强度。

光伏组件封装:电池片边缘密封、接线盒灌胶及边框密封性能。

锂电池注液系统:真空干燥箱、注液管路及密封圈老化测试。

检测标准

ASTME1398真空系统泄漏率测量标准方法。

ISO3530:2016真空技术-泄漏检测-氦质谱检漏方法。

GB/T13927-2008工业阀门压力试验标准。

ASMEBoilerandPressureVesselCodeSectionVIII压力容器泄漏检测规范。

IEC60695-1-12电工电子产品着火危险试验泄漏率测量。

GB/T14042-2010液压传动系统泄漏测量方法。

JISZ2330-2011真空技术泄漏检测方法通则。

ASTMD4935-08半导体封装泄漏率测试标准。

ISO9712:2012无损检测人员资格鉴定与认证。

GB/T26818-2011微型高压开关设备泄漏率测试方法。

检测仪器

氦质谱检漏仪:采用磁偏转聚焦原理,配备离子源与质量分析器,可检测10^-12mbar·L/s级泄漏。

差压式检漏仪:通过比较基准容积与被测容积压力变化,测量范围覆盖10^-3~10^2mbar·L/s。

真空计组合系统:集成电离规、热偶规和皮拉尼规,量程跨越10^-10~10^5Pa,实时监测真空度变化。

超声波检漏仪:搭载宽频带压电换能器,可检测20kHz~5MHz声波信号,定位精度达±1mm。

自动压力衰减测试台:配备高精度压力传感器与数据采集系统,实现泄漏率的自动化计算与记录。

热真空试验箱:具备温度控制范围-196℃~300℃,真空度优于10^-7Pa,支持极端环境下的密封验证。

气密性检漏装置:采用微压差传感技术,适用于0.1mbar~10bar压力范围的泄漏定量分析。

工业内窥镜检漏系统:集成高清摄像头与激光测漏模块,可观测内部结构并检测微米级裂缝泄漏。

放射性检漏仪:搭载盖革-米勒计数器,检测限达10^-15mbar·L/s,适用于超洁净环境泄漏监测。

全自动氦气回收系统:配备膜分离装置与纯化单元,回收效率≥99%,支持大规模检漏作业。

智能泄漏诊断软件:内置泄漏模型算法,可分析压力曲线特征并预测剩余使用寿命。

检测流程

线上咨询或者拨打咨询电话;

获取样品信息和检测项目;

支付检测费用并签署委托书;

开展实验,获取相关数据资料;

出具检测报告。

北检(北京)检测技术研究院
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