气密性氦质谱检漏检测

检测项目

泄漏率测量：针对封闭系统的泄漏速率进行定量检测，适用于真空设备、密封容器的性能评估。具体检测参数：泄漏率范围1×10⁻¹²~1×10⁻³ Pa·m³/s，测量精度±5%。

最小可检漏率确定：评估检测系统的最低可识别泄漏水平，用于校准和系统性能验证。具体检测参数：最小可检漏率范围5×10⁻¹³~1×10⁻⁶ Pa·m³/s，分辨率≤1×10⁻¹³ Pa·m³/s。

多气体泄漏区分检测：识别混合气体环境中特定泄漏组分（如氦气、氢气），适用于复杂工况下的泄漏源定位。具体检测参数：可区分气体种类≥3种，组分浓度检测下限1ppm。

真空系统泄漏定位检测：通过质谱扫描确定真空系统泄漏点的空间位置，适用于大型真空设备的维护检测。具体检测参数：定位精度±5mm（距离检测口≤2m），扫描角度范围0°~360°。

密封组件泄漏检测：针对法兰、阀门、O型圈等密封元件的泄漏性能检测，用于质量验收。具体检测参数：适用密封件尺寸Φ2mm~Φ500mm，压力范围0~10MPa（表压）。

管道焊接点泄漏检测：对金属管道焊接接头的密封性进行无损检测，适用于石化、能源管道的质量控制。具体检测参数：管道直径Φ10mm~Φ1000mm，壁厚1mm~50mm，检测速度≤5m/min。

容器泄漏率验证检测：验证储罐、反应釜等容器的整体泄漏率是否符合设计要求，用于出厂检验或定期维护。具体检测参数：容器容积0.1m³~1000m³，工作压力-0.1MPa~20MPa（表压）。

电子器件封装泄漏检测：针对半导体芯片封装、传感器封装的微小泄漏检测，保障器件长期可靠性。具体检测参数：封装尺寸Φ0.1mm~Φ50mm，泄漏率范围1×10⁻¹²~1×10⁻⁸ Pa·m³/s。

航空部件泄漏检测：对飞机发动机部件、液压管路、座舱密封结构的泄漏检测，确保飞行安全。具体检测参数：部件尺寸Φ5mm~Φ2000mm，工作温度-60℃~800℃，泄漏率范围1×10⁻¹⁰~1×10⁻⁴ Pa·m³/s。

汽车零部件泄漏检测：包括空调系统、燃油系统、制动系统的密封性检测，符合汽车行业质量标准。具体检测参数：部件尺寸Φ3mm~Φ1500mm，工作压力-0.05MPa~5MPa（表压），泄漏率范围1×10⁻⁹~1×10⁻³ Pa·m³/s。

核工业设备泄漏检测：针对反应堆冷却系统、放射性物质容器的泄漏检测，要求极高的安全性和灵敏度。具体检测参数：设备尺寸Φ10mm~Φ5000mm，工作压力0~30MPa（表压），泄漏率范围1×10⁻¹¹~1×10⁻⁵ Pa·m³/s。

检测范围

真空设备：包括真空泵、真空腔室、真空阀门等，用于高真空或超高真空环境的密封性能检测。

半导体制造设备：如等离子体刻蚀机、化学气相沉积设备的反应腔、传输腔，保障工艺环境的密封性。

航空发动机部件：涡轮叶片、燃烧室、燃料管路等，需承受高温高压的密封关键件。

汽车空调系统：冷凝器、蒸发器、管路接头等，影响制冷效率和车内环境的关键部件。

医疗器械：高压灭菌器、输液泵、血液透析机的密封组件，直接关系医疗安全和治疗效果。

光伏组件：太阳能电池片封装结构、接线盒、边缘密封，防止水汽侵入影响发电效率。

燃料电池：双极板、膜电极、气体扩散层的密封，保障氢气和氧气的隔离及反应效率。

锂电池：电池壳体、注液口、极耳密封，防止电解液泄漏和外部湿气侵入。

光学仪器：镜头座、密封箱、观察窗，保障光学系统的清洁度和成像质量。

核工业设备：反应堆冷却系统管道、放射性废物储存容器，需严格防止放射性物质泄漏。

食品包装机械：无菌灌装机、真空包装机的密封腔体，确保食品卫生和保质期。

检测标准

ASTM E1311：真空系统泄漏检测的标准方法，规定了氦质谱检漏的操作流程和技术要求。

ISO 3530：氦质谱检漏仪的性能测试方法，明确了灵敏度、分辨力等关键指标的测试条件。

GB/T 13927：金属阀门压力试验方法，包含泄漏检测的要求和试验步骤。

GB/T 12204：真空技术泄漏检测方法，规定了真空系统泄漏检测的通用原则和技术规范。

ASTM F2096：包装泄漏测试的标准方法，适用于柔性包装的泄漏率检测。

ISO 9978：包装完整性测试的标准，规定了包装密封性能的无损检测方法。

GB/T 4937：半导体器件封装试验方法，包含气密性检测的具体要求和操作流程。

ASTM D4991：塑料容器泄漏测试的标准方法，适用于热塑性塑料容器的密封性能检测。

ISO 10648：真空技术泄漏检测的标准，规定了泄漏检测方法的分类和应用范围。

GB/T 16927：高电压试验技术的相关标准，包含高压开关设备泄漏检测的技术要求。

检测仪器

氦质谱检漏仪：核心检测设备，通过磁偏转质谱仪分析泄漏出的氦气，实现高灵敏度泄漏检测。具体功能：氦气检测灵敏度≤1×10⁻¹³ Pa·m³/s，支持正压和负压两种检测模式。

真空计：用于测量检测环境的真空度，为氦质谱检漏提供必要的真空条件。具体功能：测量范围1×10⁵ Pa~1×10⁻⁶ Pa，精度±0.5% FS（全量程）。

氦气纯化装置：去除氦气中的杂质气体（如水分、氧气），确保氦气纯度≥99.9995%，避免杂质干扰质谱检测。具体功能：纯化后氦气纯度≥99.9995%，处理流量1~10L/min。

泄漏标准件：已知泄漏率的校准装置，用于定期校准氦质谱检漏仪的灵敏度和准确性。具体功能：提供标准泄漏率1×10⁻⁶~1×10⁻¹¹ Pa·m³/s，误差≤±2%。

真空抽气系统：由真空泵组、管道和阀门组成，用于快速建立和维持检测所需的真空环境。具体功能：抽气速率500~5000L/s，极限真空度≤1×10⁻⁶ Pa。

质谱检漏探头：可移动的检测探头，通过扫描被测件表面寻找泄漏点。具体功能：探头尺寸Φ20mm×150mm，扫描速度≤100mm/s，定位精度±3mm。

氦气回收装置：收集检测过程中使用的氦气，减少气体消耗和环境污染。具体功能：回收效率≥90%，氦气纯度回收后≥99.995%。

数据采集系统：实时记录检测过程中的泄漏率、真空度等数据，并生成检测报告。具体功能：采样频率100Hz，数据存储容量≥1TB，支持Excel、PDF格式导出。

温度补偿装置：监测并补偿环境温度变化对泄漏检测结果的影响，提高检测准确性。具体功能：温度测量范围-50℃~200℃，精度±0.1℃，补偿范围±10%泄漏率。

压力平衡装置：用于平衡被测件内外压力，避免因压力差过大影响检测结果。具体功能：压力调节范围-0.1MPa~10MPa（表压），调节精度±0.001MPa。

信号放大器：增强质谱检漏仪输出的弱信号，提高检测系统的信噪比。具体功能：增益范围10³~10⁶倍，带宽10Hz~100kHz，噪声≤1mVrms。

检测流程

线上咨询或者拨打咨询电话;

获取样品信息和检测项目;

支付检测费用并签署委托书;

开展实验，获取相关数据资料;

出具检测报告。