氦质谱检漏分析检测

检测项目

泄漏率测量：通过氦质谱仪检测样品泄漏的氦气流量，计算单位时间泄漏量。参数：测量范围1×10⁻¹²~1×10⁻³ Pa·m³/s，精度±5%。

最小可检漏率：仪器能可靠检测的最小泄漏率值。参数：典型值5×10⁻¹³ Pa·m³/s（氦气，扣除本底后）。

泄漏位置定位：利用氦质谱仪的信号强度分布确定泄漏点空间坐标。参数：平面定位精度≤2mm，深度定位误差≤5%。

气体干扰排除：区分氦气与其他气体（如氢气、氮气）的质谱信号。参数：氢气干扰抑制比≥10⁴，氮气抑制比≥10³。

真空系统泄漏检测：针对真空腔体的整体及焊缝、法兰等部位的泄漏评估。参数：适用真空度范围1×10⁻¹~1×10⁵ Pa。

密封组件泄漏评估：用于O型圈、垫片等密封元件的泄漏率测试。参数：测试压力范围0.1~10 MPa（表压）。

高温环境泄漏测试：在高温工况下（如300℃）检测密封结构的泄漏率变化。参数：温度范围50~500℃，控温精度±2℃。

低温环境泄漏测试：在低温工况下（如-196℃液氮环境）评估密封性能。参数：温度范围-200~100℃，控温精度±1℃。

多通道泄漏同步检测：同时检测多个独立工位的泄漏率。参数：通道数≥8，同步采集频率1Hz。

材料渗透率影响测量：分析材料本身对氦气的渗透导致的表观泄漏量。参数：渗透率测量范围1×10⁻¹⁴~1×10⁻¹⁰ mbar·L/(s·m²)，精度±10%。

检测范围

半导体封装器件：集成电路封装、LED芯片支架等需高密封性的微电子器件。

真空电子器件：显像管、真空开关管、粒子加速器部件等依赖真空环境的电子组件。

航空发动机部件：涡轮叶片密封环、燃油管路接头等承受高压高温的关键部件。

汽车空调系统：压缩机密封件、冷凝器管路接口等涉及制冷剂泄漏的部件。

锂电池密封组件：电池壳体焊接处、注液口密封结构等防止电解液泄漏的部位。

医疗器械灭菌包装：医用透析纸与PVC硬片的密封边、预充式注射器活塞密封处。

光伏组件封装：太阳能电池片层压件边缘密封胶、接线盒与组件的接合部位。

核反应堆内部部件：燃料棒包壳焊缝、控制棒驱动机构密封件等核安全相关组件。

制冷设备管路：冰箱蒸发器/冷凝器铜管接头、空调截止阀密封部位。

光学仪器密封外壳：天文望远镜镜筒、激光器腔体等需隔绝灰尘和湿气的精密外壳。

检测标准

ASTM E498-17 真空系统泄漏率测量用氦质谱检漏方法。

ISO 3530:2016 氦质谱检漏仪性能特性及测试方法。

GB/T 13927-2008 工业阀门 压力试验（涉及泄漏检测要求）。

GB/T 14048.1-2012 低压开关设备和控制设备 第1部分：总则（泄漏测试相关条款）。

ASTM D4230-17 包装 完整性测试 用示踪气体的泄漏检测方法。

ISO 9712:2012 无损检测 人员资格鉴定与认证（氦质谱检漏人员资质要求）。

GB/T 2423.17-2008 电工电子产品环境试验 第2部分：试验方法 试验Ka：盐雾（涉及腐蚀环境下泄漏检测）。

ASTM F2096-11 包装 完整性测试 用内部加压法的密封包装泄漏检测。

ISO 10993-1:2018 医疗器械生物学评价 第1部分：风险管理过程中的评价与试验（生物相容性材料的泄漏影响评估）。

GB/T 16540-2017 金属材料中气体含量测定的氦质谱检漏方法。

检测仪器

通用型氦质谱检漏仪：核心设备，集成质谱分析系统与真空抽气系统，用于检测样品泄漏出的氦气信号并计算泄漏率。

真空计（电离规）：辅助测量检测系统的真空度，为氦质谱检漏提供真空环境参数支持，测量范围1×10⁻¹~1×10⁵ Pa。

质谱检漏传感器：内置离子源与质量分析器，选择性检测氦气离子，实现对微小泄漏的高灵敏度探测。

氦气纯化装置：去除氦气中的杂质气体（如氢气、水蒸气），确保检漏用氦气纯度≥99.9995%，避免杂质干扰质谱信号。

多通道泄漏检测系统：通过多路阀组与传感器阵列，同步采集多个工位的氦气信号，实现批量样品的泄漏率并行检测。

真空泵组（分子泵+机械泵）：为检漏系统提供高真空环境，分子泵抽速≥500 L/s（在10⁻³ Pa时），机械泵作为前级泵。

泄漏标准漏孔：已知泄漏率的参考标准件（如金属压扁漏孔、玻璃毛细管漏孔），用于校准检漏仪的测量精度，泄漏率范围1×10⁻¹⁰~1×10⁻⁶ Pa·m³/s。

氦气回收装置：通过吸附与压缩技术将检测过程中使用的氦气回收再利用，减少氦气消耗，回收效率≥90%。

热真空环境模拟箱：可模拟高低温（-196~500℃）、高真空（1×10⁻³ Pa）环境，用于测试极端工况下样品的泄漏率变化。

自动定位检漏装置：集成氦气喷射探头与位置传感器，通过扫描样品表面并分析信号强度峰值，自动定位泄漏点坐标。

检测流程

线上咨询或者拨打咨询电话;

获取样品信息和检测项目;

支付检测费用并签署委托书;

开展实验，获取相关数据资料;

出具检测报告。