电子衍射分析检测

北检院检测中心  |  完成测试:  |  2025-09-02  

电子衍射分析检测是一种利用电子束与晶体材料相互作用产生衍射效应进行材料表征的技术,用于确定晶体结构、晶格参数、相组成和缺陷。检测要点包括衍射角精度、强度校准和图案解析,确保分析结果的准确性和可靠性。

注意:因业务调整,暂不接受个人委托测试望见谅。

检测项目

晶体结构分析:通过电子衍射图案确定材料的晶体结构,包括空间群和原子位置。具体参数包括晶格常数a、b、c(单位Å),角度α、β、γ(度)。

晶格参数测定:测量晶格平面间距,使用布拉格定律计算d-spacing。参数涉及衍射角2θ(度)和波长λ(nm)。

相识别:识别材料中的不同相,基于衍射斑点的位置和强度。参数包括相分数和衍射环直径。

晶体取向分析:确定晶粒的取向关系,参数为取向矩阵或欧拉角。

缺陷分析:检测晶体缺陷如位错、孪晶等,参数包括缺陷密度(个/cm²)和类型。

纳米颗粒尺寸测定:通过衍射环 broadening 效应计算颗粒尺寸,参数为平均直径(nm)和尺寸分布。

薄膜厚度测量:利用电子衍射干涉条纹测量薄膜厚度,参数为厚度值(nm)和均匀性。

应力分析:通过晶格应变测量内应力,参数为应力值(MPa)和应变张量。

成分分析:基于衍射强度进行定量相分析,参数为化学成分重量百分比。

电子衍射花样索引:标定衍射斑点的Miller指数,参数为衍射矢量g(1/nm)。

检测范围

金属材料:包括各种合金,用于相变和结构稳定性研究。

半导体材料:如硅、锗,用于缺陷和掺杂分析。

陶瓷材料:氧化物、碳化物,用于相组成和烧结行为。

聚合物材料:结晶聚合物,用于晶体形态和热历史分析。

纳米材料:纳米颗粒、量子点,用于尺寸和结构表征。

薄膜材料:沉积薄膜,用于界面和厚度测量。

矿物样品:地质标本,用于矿物鉴定和成因研究。

生物材料:生物晶体,如蛋白质,用于结构解析。

电子器件:微电子组件,用于材料失效分析。

复合材料:多相系统,用于界面结合和相分布。

检测标准

ASTM E112 标准测试方法 for Determining Average Grain Size

ISO 14606 微束分析 电子衍射分析方法

GB/T 13298 金属显微组织检验方法

ASTM E1508 标准指南 for Quantitative Analysis by Electron Diffraction

ISO 16700 微束分析 电子探针显微分析 通用指南

GB/T 18876 金属材料 定量金相测定方法

检测仪器

透射电子显微镜:用于高分辨率成像和衍射分析,具体功能包括选区电子衍射和会聚束电子衍射。

选区电子衍射装置:集成在透射电子显微镜中,用于获取微小区域的衍射图案,功能为精确角度测量。

高分辨率电子显微镜:提供原子级分辨率,功能用于直接观察晶体结构。

电子背散射衍射系统:安装在扫描电子显微镜上,用于晶体取向分析,功能为自动取向 mapping。

CCD相机:用于记录电子衍射图案,功能为数字图像采集和强度量化。

检测流程

线上咨询或者拨打咨询电话;

获取样品信息和检测项目;

支付检测费用并签署委托书;

开展实验,获取相关数据资料;

出具检测报告。

北检(北京)检测技术研究院
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