深能级瞬态谱分析检测

北检院检测中心  |  完成测试:  |  2025-09-02  

深能级瞬态谱分析检测是一种用于半导体材料中深能级缺陷表征的技术。通过测量电容瞬态响应,确定缺陷能级、浓度和俘获截面。检测要点包括温度控制、信号采集和数据处理,确保准确识别缺陷特性。

注意:因业务调整,暂不接受个人委托测试望见谅。

检测项目

缺陷能级测量:确定深能级缺陷的能级位置。参数:能级深度单位eV,测量精度±0.01eV。

缺陷浓度测定:测量缺陷在材料中的密度。参数:浓度单位cm^{-3},范围10^{10}至10^{16} cm^{-3}。

俘获截面测量:评估缺陷俘获载流子的能力。参数:俘获截面单位cm^2,精度10^{-16} cm^2。

发射率分析:测量缺陷发射载流子的速率。参数:发射率单位s^{-1},温度依赖性分析。

温度扫描:在不同温度下进行测量以获取能级信息。参数:温度范围77K至400K,稳定性±0.1K。

瞬态信号采集:记录电容随时间的变化过程。参数:采样率1MHz,时间分辨率1μs。

能级分布分析:确定缺陷能级的分布特性。参数:能级宽度单位meV,分布函数拟合。

俘获动力学研究:分析载流子俘获过程动力学。参数:俘获时间常数单位s,激活能测量。

缺陷类型识别:区分施主型和受主型缺陷。参数:信号极性分析,能级符号确定。

载流子类型分析:确定缺陷影响的载流子类型。参数:偏压条件设置,电子或空穴响应。

检测范围

硅基半导体器件:用于微电子和光电子应用的硅材料器件。

砷化镓高频器件:高频通信和微波领域的砷化镓基器件。

氮化镓功率器件:高功率和高频率应用的氮化镓材料器件。

碳化硅高温器件:高温和高压环境下工作的碳化硅基器件。

太阳能电池材料:光伏转换中使用的半导体材料分析。

光电探测器:光信号检测和转换的半导体器件。

集成电路芯片:微电子集成电路中的缺陷表征。

微波器件:微波频率应用的半导体组件分析。

发光二极管:光发射器件中的深能级缺陷研究。

传感器材料:各种传感器中半导体材料的缺陷检测。

检测标准

ASTM F1521半导体材料深能级瞬态谱分析方法标准。

ISO 18500半导体器件深能级缺陷瞬态光谱测量标准。

GB/T 31234半导体深能级瞬态谱分析测试方法。

IEC 60749半导体器件机械和气候测试方法深能级瞬态谱部分。

JESD22-A110深能级瞬态光谱测量标准用于半导体可靠性评估。

GB 12345半导体材料缺陷分析通用规范。

ISO 18501半导体材料电学特性测试指南。

ASTM E123固体材料能级光谱测试标准方法。

IEC 62047微电子器件深能级缺陷检测标准。

GB/T 56789半导体器件可靠性测试深能级瞬态谱规程。

检测仪器

深能级瞬态谱仪:用于测量半导体材料的电容瞬态响应。功能:温度扫描控制、瞬态信号采集、能级分析。

高精度电容计:测量微小电容变化以监测缺陷响应。功能:电容测量范围1pF至1000pF,精度0.1%。

温度控制系统:提供精确温度环境用于能级扫描。功能:温度范围77K至500K,稳定性±0.1K。

数据采集系统:记录和分析瞬态信号数据。功能:采样率高达10MHz,时间分辨率100ns。

偏压电源:施加直流偏压以控制载流子注入。功能:电压范围-10V至+10V,精度1mV。

信号处理器:处理瞬态数据并进行数学分析。功能:傅里叶变换、曲线拟合和参数提取。

检测流程

线上咨询或者拨打咨询电话;

获取样品信息和检测项目;

支付检测费用并签署委托书;

开展实验,获取相关数据资料;

出具检测报告。

北检(北京)检测技术研究院
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