穹顶光源暗场检测

检测项目

表面粗糙度检测：测量样品表面的微观不平度参数，在暗场照明下准确量化粗糙度特征，确保检测系统能分辨最小表面起伏。

微观划痕识别：检测表面微小划痕的存在和尺寸，通过暗场成像增强划痕对比度，提高缺陷可视性。

颗粒污染分析：识别和量化表面附着的微小颗粒污染物，利用暗场技术增强颗粒的可见性。

涂层均匀性评估：分析涂层厚度的变化和分布均匀性，在穹顶光源下观察涂层差异。

缺陷尺寸测量：精确测量表面缺陷如凹坑或凸起的几何尺寸，使用图像处理工具确保精度。

对比度灵敏度测试：评估系统对不同灰度级别的分辨能力，确保缺陷能被清晰识别。

光源均匀性检测：检查穹顶光源的照明均匀性分布，避免光照不均导致检测误差。

分辨率校准：校准光学系统的分辨率参数，确保能分辨最小特征尺寸。

样品定位精度：验证样品在检测平台上的定位准确性，防止位置偏移影响检测结果。

图像畸变校正：校正光学系统中的几何畸变，保证图像数据的几何精度。

检测范围

半导体晶圆：用于集成电路制造的材料，表面缺陷检测对产品良率和性能至关重要。

光学镜片：应用于相机和望远镜的组件，表面划痕检测影响成像质量和透光率。

金属表面：工业部件如轴承和齿轮，检测腐蚀、磨损和微观裂纹。

陶瓷材料：电子元件基板和绝缘体，需要无缺陷表面以确保电气性能。

塑料制品：如手机外壳和包装材料，检测注塑过程中的表面缺陷。

玻璃面板：触摸屏和显示设备表面，检测划痕、气泡和杂质。

生物样本：显微镜载玻片上的细胞和组织，观察微观结构在暗场下的细节。

涂层表面：如汽车漆面和防腐涂层，评估涂层完整性和均匀性。

印刷电路板：电子设备中的基板，检测焊点、线路缺陷和污染。

纺织品纤维：织物和纤维材料，分析表面结构和耐久性特征。

检测标准

ISO 14978:2018《几何产品规范 表面纹理测量 仪器校准》：规定了表面纹理测量仪器的校准方法，适用于暗场检测中的粗糙度参数量化。

ASTM E1951-14《JianCe Guide for Calibrating Reticles and Light Microscope Magnifications》：提供显微镜放大倍率校准指南，确保暗场成像的分辨率精度。

GB/T 13334-2008《光学显微镜 通用技术条件》：中国国家标准，规范光学显微镜的性能要求，适用于暗场检测设备。

ISO 16610-21:2011《Geometrical product specifications (GPS) — Filtration — Part 21: Linear profile filters: Gaussian filters》：定义表面轮廓滤波方法，用于缺陷尺寸分析。

GB/T 6062-2009《产品几何技术规范(GPS) 表面结构 轮廓法 接触(触针)式仪器的标称特性》：规范表面结构测量仪器的特性，支持暗场检测数据验证。

ISO 4287:1997《几何产品规范(GPS) 表面结构:轮廓法 术语、定义和表面结构参数》：提供表面结构参数的标准化定义，用于缺陷识别。

ASTM E766-14《JianCe Practice for Calibrating the Magnification of SEMs Using NIST Traceable JianCes》：指导显微镜放大倍率校准，确保检测系统精度。

检测仪器

暗场显微镜：提供高对比度成像功能，用于观察表面微观缺陷，在本检测中增强缺陷可视性。

CCD相机：捕获高分辨率数字图像，用于记录和分析检测结果，在本检测中实现图像数据采集。

图像分析软件：处理和分析图像数据，自动识别和测量缺陷尺寸，在本检测中支持定量评估。

光源控制器：调节穹顶光源的亮度和均匀性参数，确保照明稳定，在本检测中控制光照条件。

精密样品平台：精确定位样品位置，确保检测区域一致性，在本检测中避免移动误差。

检测流程

线上咨询或者拨打咨询电话;

获取样品信息和检测项目;

支付检测费用并签署委托书;

开展实验，获取相关数据资料;

出具检测报告。