电子探针检测

检测项目

微区元素定性分析：利用电子束激发样品特征X射线，通过能谱仪或波谱仪对微米级区域内存在的元素种类进行快速识别与确认，为后续定量分析提供基础成分信息。

微区元素定量分析：基于特征X射线强度测量，采用ZAF或φ(ρz)等校正算法计算样品中元素的精确质量百分含量，确保分析结果的准确性与可靠性。

元素面分布分析通过电子束在样品表面进行二维扫描，同步采集特定元素特征X射线信号强度，生成元素分布图像以直观显示元素在微区内的空间分布状况。

元素线扫描分析控制电子束沿样品表面预设路径进行一维线性扫描，获取路径上元素浓度变化的连续曲线，用于分析元素在界面或梯度材料中的分布特征。

背散射电子像观察利用背散射电子信号对样品微区形貌及原子序数衬度进行成像，辅助定位分析区域并初步判断材料成分均匀性。

二次电子像观察采用二次电子信号对样品表面微观形貌进行高分辨率成像，用于分析区域定位及表面结构特征观察。

波长色散谱分析利用分光晶体对特征X射线进行波长色散，实现轻元素及相邻元素的高分辨率谱线采集与精确测量。

能量色散谱分析采用半导体探测器同步采集全波段X射线信号，实现多元素快速定性分析及半定量测定。

定点成分分析将电子束聚焦于样品表面特定微区进行定点激发，获取该点的精确成分信息用于局部区域成分表征。

相成分分析对材料中特定相或夹杂物进行成分测定，结合形貌观察实现多相材料中各相组成的准确鉴定。

检测范围

金属及合金材料包括钢铁、铝合金、钛合金等金属材料的相组成分析、夹杂物鉴定以及元素偏析研究，为材料性能优化提供成分依据。

矿物与地质样品应用于岩石矿物中微米级矿物的成分鉴定、元素赋存状态研究以及地质成因分析，支持矿产资源评价。

半导体材料用于集成电路芯片中掺杂元素分布测量、界面扩散分析以及缺陷区域成分表征，支持器件性能优化。

陶瓷及耐火材料包括结构陶瓷、功能陶瓷等无机非金属材料的相组成分析、晶界成分测定以及烧结过程研究。

电子元器件应用于焊点成分分析、镀层厚度测量以及失效分析中的异物鉴定，为产品质量控制提供技术支持。

环境颗粒物用于大气颗粒物、粉尘等环境样品中单颗粒的成分溯源与污染来源解析，支持环境监测工作。

考古与文物样品对古代金属器物、陶瓷釉料等文物材料的成分进行无损微区分析，为文物鉴定与保护提供科学依据。

生物矿物材料包括骨骼、牙齿等生物硬组织中的元素分布研究以及病理状态下的成分变化分析。

涂层与镀层材料用于各类功能性涂层、镀层的成分分析、厚度测量以及界面扩散研究，评价涂层质量。

复合材料应用于纤维增强复合材料中纤维与基体的成分分析、界面反应层研究以及元素扩散行为表征。

检测标准

ISO 22489:2017《微束分析 电子探针显微分析 块状样品定量点分析指南》国际标准化组织发布的电子探针定量分析方法标准，规定了仪器校准、测试条件及数据处理要求。

ASTM E1508-2012《电子探针显微分析中波长色散X射线光谱定量分析的标准指南》美国材料与试验协会制定的波谱定量分析标准，涵盖仪器配置、标准样品选择及校正程序。

GB/T 17359-2012《微束分析 电子探针显微分析通用技术条件》中国国家标准规定的电子探针分析通用技术要求，包括仪器性能指标、样品制备及测试方法。

GB/T 15244-2010《电子探针定量分析方法通则》中国国家标准规定的电子探针定量分析通用方法，明确分析条件选择、校准方法及结果表示要求。

ISO 17470:2014《微束分析 电子探针显微分析 能量色散谱法定量点分析指南》国际标准化组织发布的能谱定量分析标准，规定能谱仪校准、元素谱线识别及重叠峰校正方法。

ASTM E1621-2013《电子探针显微分析中能谱仪性能评估的标准指南》美国材料与试验协会制定的能谱仪性能评价标准，涵盖分辨率、峰背比及探测效率等关键指标。

检测仪器

电子探针显微分析仪采用聚焦电子束激发样品特征X射线的专用分析设备，配备波谱仪和能谱仪实现微米级区域的元素定性与定量分析。

波长色散谱仪利用分光晶体对特征X射线进行色散的高分辨率谱仪，通过测量衍射波长实现元素精确鉴定与定量分析。

能量色散谱仪采用半导体探测器同步采集全元素X射线信号的快速分析系统，实现多元素同时定性及半定量分析。

背散射电子探测器用于接收样品发射的背散射电子信号并生成原子序数衬度图像的检测装置，辅助分析区域选择与成分衬度观察。

二次电子探测器采集样品表面发射的二次电子信号进行高分辨率形貌成像的检测装置，用于分析区域定位与表面结构观察。

检测流程

线上咨询或者拨打咨询电话;

获取样品信息和检测项目;

支付检测费用并签署委托书;

开展实验，获取相关数据资料;

出具检测报告。