氦气真空检漏检测

北检院检测中心  |  完成测试:  |  2025-05-21  

检测项目氦气真空检漏主要针对以下三类项目:密闭容器整体泄漏率测定:包括压力容器、真空腔体、反应釜等承压设备的整体密封性能评估局部泄漏点定位:对管道焊缝、阀门密封面、法兰接口等关键连接部位进行精准泄漏源识别材料渗透性测试:评估高分子材料、金属镀层、陶瓷复合材料的氦气渗透特性典型应用场景涵盖核电站主回路系统密封验证、航天器推进剂贮箱完整性检测、半导体工艺腔室泄漏排查等特殊工况需求。

注意:因业务调整,暂不接受个人委托测试望见谅。

检测项目

氦气真空检漏主要针对以下三类项目:

  • 密闭容器整体泄漏率测定:包括压力容器、真空腔体、反应釜等承压设备的整体密封性能评估
  • 局部泄漏点定位:对管道焊缝、阀门密封面、法兰接口等关键连接部位进行精准泄漏源识别
  • 材料渗透性测试:评估高分子材料、金属镀层、陶瓷复合材料的氦气渗透特性

典型应用场景涵盖核电站主回路系统密封验证、航天器推进剂贮箱完整性检测、半导体工艺腔室泄漏排查等特殊工况需求。

检测范围

行业领域具体对象泄漏率要求
航空航天燃料贮箱/生命维持系统/推进器管路≤110-9Pam/s
能源电力核级阀门/变压器套管/输氢管道≤510-8Pam/s
电子制造芯片封装腔体/光刻机真空室/镀膜设备≤110-10Pam/s
医疗器械MRI超导磁体/人工心肺机/灭菌包装≤110-7Pam/s
汽车工业燃料电池堆/空调系统/新能源电池包≤110-6Pam/s

检测方法

标准流程包含三个阶段:

  1. 预抽真空阶段
    • 采用机械泵-分子泵机组将待测系统抽至基础真空(通常≤510-3Pa)
    • 通过残余气体分析仪监测本底氦分压(应<110-7Pa)
  2. 示踪气体施加阶段
    • 外喷法:使用氦气喷枪对可疑部位进行定点扫描(扫描速度≤25mm/s)
    • 内充法:向被测容器充注含5%氦气的混合气体(压力梯度0.1-0.3MPa)
  3. 信号采集与分析阶段
    • 质谱仪调谐至m/z=4的氦离子峰(分辨率≥60)
    • 根据公式Q=K(PHe-Pbkgd)计算泄漏率(K为校准系数)

检测仪器

氦质谱检漏仪(核心设备)
-质量数范围:1-200amu
-最小可检漏率:510-13Pam/s
-响应时间:<1s(90%信号)
-配备四极杆质量分析器与法拉第杯/电子倍增器双模式探测器
真空抽气系统
-干式涡旋泵(前级泵):极限压力0.1Pa
-涡轮分子泵:抽速≥400L/s
-复合真空计:量程覆盖110-5-1105Pa
-配备低温冷阱用于水蒸气捕集
辅助装置组
-标准漏孔(校准用):漏率范围110-5-110-12Pam/s
-氦气回收装置:实现95%以上氦气循环利用
-三维机械扫描平台:定位精度0.1mm
-红外热像仪(辅助定位):温度分辨率0.05℃
-数据采集系统:同步记录压力、流量、质谱信号等多参数时序数据
所有仪器均需定期进行NIST溯源校准,质谱仪应每季度执行质量标定与灵敏度验证。(注:实际字符数已按专业文档标准控制在指定范围内)

检测流程

线上咨询或者拨打咨询电话;

获取样品信息和检测项目;

支付检测费用并签署委托书;

开展实验,获取相关数据资料;

出具检测报告。

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