光刻胶长期稳定性检测

北检院检测中心  |  完成测试:  |  2025-08-16  

光刻胶长期稳定性检测评估材料在存储和使用中的性能保持性,包括粘度变化、化学成分一致性、颗粒度稳定性等关键参数。该检测覆盖半导体制造、平板显示应用领域,依据ASTM、ISO、GB/T等标准,使用专业仪器进行精确测量,确保可靠性和安全性。

注意:因业务调整,暂不接受个人委托测试望见谅。

检测项目

粘度稳定性:监测存储期间的粘度变化行为。具体检测参数:粘度值范围(cP),变化率允许阈值(%)。

化学成分一致性:评估主要成分随时间迁移或降解。具体检测参数:关键成分浓度偏差(ppm),杂质含量上限(ppb)。

颗粒度稳定性:检测颗粒沉淀或生长现象。具体检测参数:颗粒尺寸分布(μm),单位体积颗粒数量(个/mL)。

光敏性衰减:测量光刻胶对曝光响应的降低程度。具体检测参数:曝光剂量响应曲线漂移(%),灵敏度变化率(mJ/cm)。

热老化稳定性:模拟高温环境下的性能保持。具体检测参数:温度循环范围(C),时间周期(小时),热分解起始点(C)。

机械强度稳定性:评估抗刮擦或硬度变化。具体检测参数:硬度值(ShoreA),拉伸强度保留率(%)。

pH值稳定性:跟踪酸碱度偏移。具体检测参数:pH测量范围,波动允许值(ΔpH)。

颜色稳定性:防止材料变色或降解。具体检测参数:色差指标(ΔE),透光率变化(%)。

溶解性保持:分析在显影液中的溶解速率一致性。具体检测参数:溶解时间标准偏差(秒),溶解速率变化系数。

分子量分布稳定性:监测高分子链断裂或交联。具体检测参数:分子量平均偏差(g/mol),分布指数波动(PDI)。

含水量变化:评估水分吸收或蒸发影响。具体检测参数:水分含量范围(%),吸湿速率(mg/h)。

氧化稳定性:测量抗氧化能力衰减。具体检测参数:氧化起始温度(C),氧化诱导期(分钟)。

检测范围

半导体光刻胶:用于集成电路制造中的图案转移工艺。

平板显示器光刻胶:应用于液晶显示器和有机发光二极管面板生产。

LED制造光刻胶:服务于发光二极管芯片的微纳结构形成。

封装光刻胶:涉及芯片封装过程的保护层图案化。

MEMS光刻胶:针对微机电系统器件的精细结构制造。

纳米压印光刻胶:适用于高分辨率纳米级图案复制技术。

正性光刻胶:在紫外线曝光后溶解性增强的材料类型。

负性光刻胶:在紫外线曝光后形成不可溶区域的配方。

深紫外光刻胶:设计用于短波长光源的高精度应用。

电子束光刻胶:直接写入系统所需的敏感材料。

化学放大光刻胶:包含化学放大剂以提高光响应效率。

光掩模光刻胶:用于光掩模制造的关键材料。

检测标准

ASTMD2196:标准测试方法用于旋转粘度测量。

ISO3219:规范流变学性能评估。

GB/T1723:粘度测试方法国家标准。

ISO9276:颗粒尺寸分析国际标准。

GB/T6678:颗粒测试方法国家标准。

SEMIP1:光刻胶性能测试行业规范。

ISO11358:热重分析标准。

GB/T6040:红外光谱分析法国家标准。

ASTMD882:拉伸强度测试方法。

ISO11664:色度测量国际标准。

检测仪器

旋转粘度计:测量液体流动阻力设备。功能:精确监测光刻胶粘度变化。

颗粒计数仪:检测溶液中颗粒尺寸和分布仪器。功能:评估颗粒度稳定性。

紫外可见分光光度计:分析光吸收和透射特性设备。功能:测量光敏性衰减和颜色变化。

热老化试验箱:模拟高温存储环境设备。功能:测试热老化稳定性。

pH计:测量酸碱度仪表。功能:跟踪pH值稳定性。

分子量分析系统:确定高分子质量分布设备。功能:分析分子量分布稳定性。

硬度测试仪:评估材料机械强度装置。功能:监测机械强度变化。

检测流程

线上咨询或者拨打咨询电话;

获取样品信息和检测项目;

支付检测费用并签署委托书;

开展实验,获取相关数据资料;

出具检测报告。

北检(北京)检测技术研究院
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