电子级硫酸检测

检测项目

电子级硫酸的检测体系围绕纯度控制展开核心项目：金属离子含量（包括Fe、Na、K、Ca等18种痕量元素）、总有机碳（TOC）含量、颗粒物浓度（≥0.2μm）、酸度值（H2SO4%）、水分残留量及氧化还原物质浓度构成基础检测框架。其中金属杂质需达到ppt级（10^-12g/g）检出限要求，颗粒物计数需满足SEMI C12标准规定的Class 0等级控制。

特殊应用场景需扩展检测维度：光刻工艺用硫酸需增加卤素离子（Cl^-、F^-）专项分析；晶圆清洗液需同步监测溶解氧含量；光伏级产品需建立As、Sb等V族元素的专属质控体系。

检测范围

电子级硫酸的检测范围严格遵循国际半导体设备与材料协会（SEMI）标准：C12-0709规范G1-G5等级划分体系，其中G5级要求金属杂质总量≤10ppb（10^-9g/g），颗粒物浓度≤25个/mL（≥0.5μm）。实际检测需覆盖浓度梯度验证：主成分硫酸浓度（96-98%wt）的偏差控制±0.2%，痕量组分需建立从1ppt到100ppb的标准曲线验证体系。

区域性标准差异需特别关注：北美市场适用ASTM D636规范中A-E类分级制度；欧盟REACH法规对硫酸中PAHs（多环芳烃）提出额外管控；中国GB/T 2304-2023新标将硼元素纳入必检清单。

检测方法

痕量金属分析采用三重四级杆ICP-MS联用技术：通过动态反应池（DRC）模式消除ArCl⁺对As⁷⁵的质谱干扰；采用内标法（Rh¹⁰³/In¹¹⁵）校正基体效应；配备高盐雾化器应对浓硫酸基体挑战。

颗粒物检测执行激光散射法：依据ISO 21501-4规范配置液体颗粒计数器，设置0.2μm阈值通道进行分级统计；采用在线稀释系统将样品电导率调节至＜10μS/cm后进样；每批次同步运行NIST SRM 2806b标准粒子进行仪器校准。

TOC测定采用高温催化氧化法：样品经磷酸酸化后导入680℃铂催化剂反应管；非分散红外检测器（NDIR）定量CO₂生成量；系统空白值需稳定控制在＜5ppb C水平。

检测仪器

核心分析设备包含：电感耦合等离子体质谱仪（ICP-MS）配备耐氢氟酸进样系统；百万级洁净度颗粒计数器配置恒温层流罩；全自动电位滴定仪集成动态终点识别算法；超纯水机产出18.2MΩ·cm@25℃的试剂用水。

辅助设备体系构建要点：建立Class 100超净实验室环境；配置PTFE材质密闭采样装置防止二次污染；安装振动隔离平台保证ICP-MS信号稳定性；部署在线数据采集系统实现原始记录可追溯。

计量溯源体系要求：所有仪器须通过CNAS认可的校准机构进行年度检定；标准物质选用NIST或IRMM有证参考物质；建立包含空白样、加标样、平行样的三级质控流程。

检测流程

线上咨询或者拨打咨询电话;

获取样品信息和检测项目;

支付检测费用并签署委托书;

开展实验，获取相关数据资料;

出具检测报告。