真空度检测

检测项目

真空度检测包含三大核心项目：静态真空度测定用于评估系统在稳定状态下的极限压力值；动态泄漏率测试通过压力变化速率推算系统密封性能；残余气体分析（RGA）则利用质谱技术识别残留气体成分及其分压占比。特殊工况下需增加温度循环测试与振动环境模拟测试等扩展项目。

检测范围

本检测适用于10^-1 Pa至10^-9 Pa量级的真空系统验证：1) 半导体制造中的离子注入设备腔体；2) 航天器热真空试验舱的密封组件；3) 医用直线加速器的波导管系统；4) 高能物理实验的超导磁体低温恒温器；5) 镀膜设备的工艺反应室。特殊应用场景包含核聚变装置第一壁材料测试平台与深空环境模拟舱。

检测方法

静态升压法通过关闭抽气系统后监测压力变化曲线计算泄漏率；四极质谱分析法可精确识别H₂O、N₂等特定气体分压；热阴极电离规与冷阴极磁控规组合测量实现10^-6 Pa至10^-12 Pa宽量程覆盖；氦质谱检漏采用示踪气体法定位微米级漏孔；激光干涉法适用于大容积容器的整体泄漏率快速评估。

检测仪器

1) 电容薄膜规（CDG）用于中低真空段（10³-10^-3 Pa）的绝对压力测量；2) 潘宁规（Penning gauge）在10^-3-10^-7 Pa范围内具有高稳定性；3) 分子泵组配合涡轮泵实现超高真空环境制备；4) 残余气体分析仪（RGA）配备法拉第杯检测器与电子倍增器双通道；5) 氦质谱检漏仪灵敏度可达5×10^-13 Pa·m³/s；6) 激光多普勒测振仪用于非接触式泄漏点定位。

专业实验室应配置三级标准校准系统：比对法装置采用动态膨胀原理建立10^-1-10^-6 Pa量值基准；分流法装置覆盖10^-4-10^-8 Pa范围；静态膨胀法则用于超高真空段的仪器校准。所有设备须定期通过NIST可溯源的标准漏孔进行量值传递验证。

现场检测需遵循ASTM E493标准流程：预处理阶段进行系统烘烤除气（150-400℃/24h）；测量阶段实施多传感器同步数据采集；数据分析采用最小二乘法拟合压力-时间曲线。特殊工况下需建立蒙特卡洛模型模拟气体分子运动轨迹。

报告编制应包含原始数据记录图、环境参数修正值及测量不确定度分析表。关键参数必须标注置信区间（通常取95%置信水平），对于复合型泄漏系统需单独注明扩散泄漏与粘滞泄漏的占比分析结果。

检测流程

线上咨询或者拨打咨询电话;

获取样品信息和检测项目;

支付检测费用并签署委托书;

开展实验，获取相关数据资料;

出具检测报告。