氮化铝垫片检测

检测项目

氮化铝垫片的核心检测体系包含七大关键指标：

1. 化学成分分析：AlN纯度（≥99%）、氧含量（≤0.8%）、金属杂质总量（≤200ppm）

2. 密度与孔隙率：理论密度≥3.26g/cm³，开孔率＜0.5%

3. 热导率测试：室温条件下≥170W/(m·K)

4. 抗弯强度测定：三点弯曲法测试≥350MPa

5. 热膨胀系数：25-400℃区间CTE值(4.5-5.5)×10⁻⁶/℃

6. 表面粗糙度：Ra≤0.4μm（抛光面），Rz≤3.2μm

7. 绝缘性能：体积电阻率＞10¹⁴Ω·cm（500V DC）

8. 耐腐蚀性：5%HCl溶液浸泡24小时失重率＜0.02%

检测范围

本检测体系适用于以下应用场景的氮化铝制品：

1. 半导体设备：晶圆制造用静电卡盘基板、等离子体电极板

2. 电子封装：大功率LED基板、IGBT模块散热衬底

3. 高频器件：微波管输能窗组件、射频匹配网络载体

4. 航空航天：惯性导航系统隔热部件、星载电源模块

5. 高温设备：真空烧结炉承烧板、MOCVD反应腔衬里

具体形态包括：

• 单层基板：厚度0.1-3.0mm

• 覆铜薄膜：铜层厚度50-300μm

• 多层结构：共烧层数3-7层

• 异形加工件：直径Φ10-300mm的圆形/方形定制件

检测方法

依据国际标准建立系统化检测方案：

1. 化学成分分析：

• X射线荧光光谱法（JIS R 2216）测定主成分含量

• 惰性气体熔融法（ASTM E1019）测定氧/碳含量

2. 密度测试：

• 阿基米德法（GB/T 25995）测量表观密度

• 压汞法（ISO 15901-1）分析孔隙分布特征

3. 热导率测试：

• 激光闪射法（ASTM E1461）测量25-300℃区间值

• 稳态热流法（ISO 8301）验证高温段数据

4. 力学性能测试：

• 万能试验机（ISO 14704）执行三点弯曲试验

• Vickers硬度计（JIS R 1610）加载9.8N保载15秒

5. 表面特性分析：

• 白光干涉仪（ISO 25178）扫描10×10mm区域

• SEM-EDS联用系统观察微观形貌及元素分布

检测仪器

专业化实验室需配置以下设备系统：

1. X射线荧光光谱仪（XRF）：

• Rh靶光源，分辨率≤150eV@MnKα

• 多道分析器通道≥1024

2. 激光导热仪：

• 温度范围-100~500℃，精度±3%

• 试样尺寸Φ12.7×1-3mm

3. 精密密度分析仪：

• 称量精度0.0001g，温度补偿±0.1℃

• 专用浸渍液密度3.00g/cm³±0.01

4. 微机控制万能试验机：

• 载荷范围0~5kN，位移分辨率0.1μm

• ASTM标准三点弯曲夹具跨距30mm

5. 三维表面轮廓仪：

• Z轴分辨率0.1nm，扫描速度100Hz

• ISO滤波参数λs=0.025mm, λc=0.8mm

6. SEM-EDS联用系统：

• FE-SEM分辨率≤1nm@15kV

• EDS探测器能谱分辨率≤129eV

检测流程

线上咨询或者拨打咨询电话;

获取样品信息和检测项目;

支付检测费用并签署委托书;

开展实验，获取相关数据资料;

出具检测报告。