单缝衍射检测

检测项目

衍射角精度测量：测定主极大与次级极大角度位置，精度±0.001°，量程范围0-90°

相对光强分布分析：记录衍射图样强度曲线，动态范围120dB，分辨率0.1%FS

半角宽度计算：测量主极大两侧第一暗纹夹角，最小分辨0.0001弧度

缝宽尺寸标定：基于中央明纹宽度反推狭缝尺寸，测量范围1-500μm，不确定度±0.05μm

波长校准验证：通过已知缝宽衍射图验证光源波长，校准精度±0.02nm

衍射效率测试：计算通过狭缝的能量占比，测试重复性99.5%

远场条件验证：确认观测距离满足夫琅禾费衍射条件，最小距离2m

偏振特性分析：检测不同偏振光衍射图样变化，角度分辨率0.01°

环境光干扰测试：背景噪声抑制比≥60dB，暗室照度＜5lx

温度漂移校正：监控系统热稳定性，补偿系数0.001%/℃

振动敏感度评估：测量机械振动对衍射图影响，允许振幅＜5nm

像差校正分析：消除光学系统球差/彗差，波前误差＜λ/20

检测范围

微机电系统（MEMS）构件：硅基微狭缝尺寸标定与形变分析

光学编码器光栅：栅线宽度一致性检测，公差控制±0.1μm

半导体光刻掩膜版：透光狭缝临界尺寸(CD)测量

光纤通信器件：光纤布拉格光栅周期验证

精密仪器狭缝组件：光谱仪入射狭缝宽度校准

纳米薄膜材料：薄膜开孔形貌表征，最小孔径50nm

激光光束质量分析：光束发散角非接触测量

光学传感器阵列：像元间距标定与对齐验证

衍射光学元件：DOE相位结构性能验证

生物微流控芯片：微通道尺寸原位测量

X射线准直器件：金属狭缝平行度检测

空间滤波系统：针孔滤波器孔径校准

检测标准

ISO 11145:2018 光学和光子学-激光器与激光相关设备-词汇与符号

ISO 10110-5:2015 光学和光子学-光学元件制图要求-第5部分：表面形貌公差

ASTM E903-20 使用积分球法测定材料的太阳光吸收率、反射率和透射率的标准试验方法

GB/T 13743-2010 激光光束宽度、发散角的测试方法

GB/T 26183-2010 微束分析 扫描电镜测量微米级长度的通则

ISO 14999-4:2015 光学元件-干涉法测量-第4部分：衍射光学元件的解释与评估

IEC 60747-14-3:2019 半导体器件-第14-3部分：半导体传感器-光传感器

GB/T 13394-92 光学零件表面疵病检测方法

ASTM F1048-18 栅格测量扫描电镜的标准指南

ISO 14644-1:2015 洁净室及相关受控环境

检测仪器

氦氖激光干涉仪：提供632.8nm单色相干光源，波长稳定性±0.001nm/h

高分辨率CCD探测阵列：2048×2048像素，像素尺寸5.5μm，采集衍射光强空间分布

精密旋转平台：角度定位精度0.0005°，承载被测狭缝组件进行多角度扫描

显微成像系统：1000倍光学放大，配合图像分析软件实现缝宽亚微米级测量

锁相放大器：检测微弱衍射信号，噪声抑制能力120dB，最小可测信号10nV

温控真空样品舱：温度波动±0.1℃，气压控制0.1Pa，消除空气扰动影响

压电陶瓷微位移台：10nm步进精度，用于衍射图样自动聚焦及扫描

傅里叶透镜系统：焦距500mm，数值孔径0.25，实现远场衍射转换

光谱滤波装置：带宽0.1nm可调，抑制环境杂散光干扰

数字相位计：测量衍射波前相位分布，相位分辨率λ/200

检测流程

线上咨询或者拨打咨询电话;

获取样品信息和检测项目;

支付检测费用并签署委托书;

开展实验，获取相关数据资料;

出具检测报告。