电子能量损失谱检测

北检院检测中心  |  完成测试:  |  2025-09-02  

电子能量损失谱检测是一种基于透射电子显微镜的分析技术,用于表征材料的元素组成、化学态和电子结构。通过测量入射电子与样品相互作用后的能量损失,提供高分辨率的成分和化学信息。检测要点包括能量分辨率、信噪比和校准精度。

注意:因业务调整,暂不接受个人委托测试望见谅。

检测项目

元素定量分析:通过核心电离边缘的积分强度定量元素浓度。具体检测参数:能量窗口宽度5-10 eV,积分范围边缘以上50-100 eV。

化学态鉴定:分析能量损失近边结构推断化学键和氧化态。具体检测参数:能量分辨率0.3-1.0 eV,采集时间1-10秒。

样品厚度测定:利用零损失峰与总强度比计算样品厚度。具体检测参数:平均自由程λ,厚度范围5-200 nm。

等离子体激发分析:研究价电子激发以获取电子密度信息。具体检测参数:等离子体能量5-30 eV,半高宽。

能带结构分析:从低损失谱确定能带隙和电子态密度。具体检测参数:能量损失范围0-50 eV,能量步长0.1 eV。

界面成分分析:检测异质界面处的化学成分梯度。具体检测参数:空间分辨率小于1 nm,线扫描步长0.5 nm。

缺陷表征:通过能量过滤成像识别晶体缺陷。具体检测参数:能量过滤窗口宽度2-5 eV,图像对比度。

纳米颗粒成分分析:测定单个纳米颗粒的元素分布。具体检测参数:束斑尺寸小于0.5 nm,元素映射像素大小。

有机材料电子结构研究:分析有机分子的电离边缘。具体检测参数:低剂量模式,剂量率小于10 e⁻/Ų。

磁性材料分析:利用电子磁圆二色性研究磁性。具体检测参数:能量损失差谱,角度依赖测量。

检测范围

半导体器件:分析晶体管界面和掺杂分布。

催化剂材料:研究催化剂表面活性位点的氧化态。

生物样品:如组织切片,用于元素映射和细胞结构分析。

纳米材料:包括碳纳米管和量子点的电子特性。

金属合金:相分离和成分不均匀性研究。

陶瓷材料:晶界化学和相变分析。

聚合物复合材料:界面粘结和填充剂分散表征。

地质样品:矿物微观结构和成分变化。

能源材料:电池电极材料的相和界面分析。

光学材料:等离子体激元结构和光子带隙研究。

检测标准

ISO 16700:2004 微束分析-扫描电子显微镜-校准指南

ASTM E1504-92(2006) 能谱和能量损失谱定量分析标准指南

GB/T 17359-2012 微束分析-能谱法定量分析通则

ISO 15472:2010 表面化学分析-X射线光电子能谱仪-能量标尺校准

ASTM E2090-12 透射电子显微镜性能表征标准实践

GB/T 20724-2006 微束分析-透射电子显微镜-电子能量损失谱分析方法

检测仪器

透射电子显微镜:提供高能电子束和成像能力。功能:产生单色电子束用于电子能量损失谱分析。

电子能量损失谱仪:测量电子能量损失分布。功能:分散电子并检测特定能量损失。

扫描透射电子显微镜探测器:用于扫描透射电子显微镜模式成像。功能:提供高分辨率图像辅助定位分析点。

能量过滤器:选择特定能量损失电子进行成像。功能:实现能量过滤成像和谱线采集。

低温样品台:降低样品温度减少损伤。功能:保持样品在低温状态 during analysis。

单色器:提高电子束的单色性。功能:减少能量 spread,提高能量分辨率。

检测流程

线上咨询或者拨打咨询电话;

获取样品信息和检测项目;

支付检测费用并签署委托书;

开展实验,获取相关数据资料;

出具检测报告。

北检(北京)检测技术研究院
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